[发明专利]用于光伏用途的Al2O3薄膜的生长

权利要求书

1.组合物的用途，用于硅片基光伏太阳能电池所用的Al₂O₃生长，以其总质量为100％，所述组合物包含至少97％的式Al(R₁)₂(OR₂)的铝前体，其中R₁和R₂独立地选自由甲基、乙基、丙基、异丙基和叔丁基组成的组；和：

-200ppb至5ppm的Mo（钼）；

-1000ppb至5ppm的Fe（铁）；

-200ppb至5ppm的Cu（铜）；

-200ppb至5ppm的Ta（钽）。

2.根据权利要求1的用途，其中所述组合物还包含：

-5000ppb至10ppm的Ni（镍）；

-2000ppb至10ppm的Zn（锌）；

-5000ppb至10ppm的W（钨）。

3.权利要求1或2的用途，其中所述铝前体是Al(Me)₂(OiPr)。

4.权利要求1或2的用途，其中所述组合物以各自0至20ppm的量包含其它金属杂质，例如B（硼）、Ca（钙）、K（钾）、Cr（铬）、Na（钠）、Nb（铌）、Ti（钛）、Mn（锰）、Co（钴）、Sn（锡）。

5.如权利要求1至4任一项中所述的组合物的用途，用于通过ALD、PEALD、CVD、PECVD或MOCVD进行的Al₂O₃薄膜沉积法。

6.根据权利要求5的用途，其中所述沉积法是ALD法。

7.根据权利要求1至6任一项的用途，其中如权利要求1至4任一项中所述的组合物包含97％至99.4％的所述铝前体。

8.通过如权利要求1至7任一项中所述的用途获得的Al₂O₃膜。

9.如权利要求8中所述的薄膜的用途，用于光伏器件、特别是用于太阳能电池的光伏器件的钝化。

10.如权利要求8中所述的薄膜的用途，用于光伏器件、特别是用于太阳能电池的光伏器件的封装。