[发明专利]碳薄膜、光学元件成形用模具及光学元件的制造方法有效
| 申请号： | 201180039247.9 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN103080003A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 岩堀恒一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B29C33/38;C03B11/00;C23C14/06;B29L11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 光学 元件 成形 模具 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳薄膜，是由正四面体非晶碳所构成，其特征在于：
在膜厚方向具备多个由三层以上sp3键的含量在相邻层中互不相同的层层叠而成的单位构造(但排除由sp3键的含量不同的两层交互层叠的情况)。
2.根据权利要求1所述的碳薄膜，其中，
在所有的所述单位构造中，依序层叠有sp3键的含量小于65％的第1层、65％以上且小于75％的第2层、以及75％以上的第3层。
3.根据权利要求1所述的碳薄膜，其中，
在所有的所述单位构造中，依序层叠有sp3键的含量小于65％的第1层、65％以上且小于75％的第2层、75％以上的第3层、以及65％以上且小于75％的第4层。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的碳薄膜，其中，
硬度为27～40GPa，内部应力为-2.2～-1.0GPa。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的碳薄膜，其中，
在所有的所述单位构造中，膜厚为总膜厚的1/3以下。
6.一种光学元件成形用模具，其特征在于：
于表面具备权利要求1至5任一项所述的碳薄膜。
7.一种光学元件的制造方法，其特征在于：
使用权利要求6所述的光学元件成形用模具对被成形物进行加压，成形光学元件。
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