[发明专利]渗漏检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种渗漏检测装置，包括用于连接测试室的测试入口、连接至测试气体检测器的高真空泵，和包括至少两个泵级（pump stage）的初步真空泵（预真空泵）。

背景技术

已知已经有用于连接至测试室的渗漏检测装置，该测试室容纳针对密封性的待检测的测试样品。该测试样品包含轻的测试气体，例如氦气，其可以被测试气体检测器(例如质谱仪)检测到。该测试气体检测器需要低于10^-4mbar的高真空。该高真空通过高真空泵产生，该高真空泵与初步真空泵串联运行。该高真空泵通常包括涡轮分子泵。该预真空泵包括至少一往复式泵级（displacementpump stage），特别是旋转叶片真空泵。

用于渗漏检测装置的泵系统描述于DE4228313A1（莱宝（Leybold））中。该系统中，该高真空泵包括两个连续运行的分子泵级，且该预真空泵由单一泵级组成。而且，已知渗漏检测装置包括二级预真空泵。该二级预真空泵具有对环境空气中包含的氦气背景（氦气的部分压力）进行高抑制的作用，以使该氦气背景保持离开测试气体检测器。在该预真空泵的二级设计中，该两个泵级的压缩比相乘。该泵级通常用共用外壳块实现并在该外壳块内部彼此连接，并提供使用这两个泵级的连接的可能。

在对容纳测试样品的测试室抽真空时，应以高吸力进行泵出（pump-off）以使泵出需要的时间最小化。EP1008841B1(Alcatel)公开了一种方法，其中在抽空过程中，预真空泵以高旋转速度运行，然而测量程序以预真空泵的低吸力进行，但有高的压力差。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种渗漏检测装置，该装置使得能够进行泵出操作，还提供一种检测操作，该检测操作使得能够以简单的方式在所述两个运行模式之间转换。

根据本发明的渗漏检测装置由权利要求1限定。其特征在于，在该预真空泵的泵级之间装有塞子（tap）且这些泵级可选择地串联或并联地运行。

在检测运行过程中串联的两个泵级可转换成用于泵出的并联状态。该过程的优点是用于测试室的抽空过程将以高的吸力运行并将仅耗费很少时间。另一方面，该检测操作将以较低吸力和增加的真空运行。因此该预真空泵的泵级以不同的运行模式使用。该方法的优点是抽空过程将在一相对短的时间内进行且在测试操作中，针对泵出时并联转换的泵级将被串联运行。该方法中，在每种运行模式中保证了全部两种泵级的高效率。

根据本发明的优选实施例，在预真空泵的泵级之间设置有阀装置，所述阀装置在第一状态中将第一泵级的出口连接至第二泵级的入口，且在第二状态中，将该第一泵级的出口连接至第二泵级的出口。这使得在平行运行和连续运行之间的转换能简便且便宜地实现。该阀装置可为适用于在通道位置和分支位置之间转换的三向阀。而且，可安装旁路阀，将测试入口连接至初步真空室的第二泵级的入口。所述旁路阀被控制为在该阀装置处于其第二状态（分支位置）时被开启。

合适地，该预真空泵的泵级被通过共用驱动器同步地驱动。该驱动器被控制为对于泵出（pump off）测试室中包含的气体时可设定较高的转速，且在该抽空过程已经终止后将设定较低的转速。因此，该泵出性能增加的效果还可进一步增加。

该驱动器的转速的控制可依赖于测试入口处的压力进行。在测试入口处的压力使得能够根据测试室中的压力和根据各自所需的泵运行得到结论。

附图说明

本发明的示例性实施例将在下文参考附图中的唯一的附图进行更详细的解释。

图1显示了本发明的渗漏检测装置的示意图。

具体实施方式

本文描述的渗漏检测装置为一种逆流渗漏检测器。该检测器包括一用于连接测试室（未显示）的测试入口10，其中测试样品将放置在该测试室中。将被用于密封性检测的测试样品将填充有测试气体，例如氦气，且该测试室将通过抽空过程抽真空。在已经产生高真空之后，将使用测试气体检测器11检测测试气体是否从测试样品渗漏至测试室。

所述测试气体检测器11连接至高真空泵12，该高真空泵12包括一第一泵级13和第二泵级14。该第一泵级优选为涡轮分子泵，且该第二泵级14为分子泵。两种泵级都串联运行。第二泵级14的出口经转换阀V1连接至预真空泵20的入口21。后者（预真空泵20）由第一泵级22和第二泵级23组成。第二泵级23的出口形成了预真空泵20的出口24，该预真空泵20伸至大气中。