[发明专利]固态图像拾取设备

权利要求书

1.一种固态图像拾取设备，包括：

第一基板，具有设置在第一基板的主面上的光电转换器；

第一布线结构，设置在第一基板的主面上并且具有包含导电材料的第一接合部分；

第二基板，在第二基板的主面上具有包括控制电路和基于光电转换器的电荷而读出信号的读出电路的外围电路的一部分；以及

第二布线结构，设置在第二基板的主面上并且具有包含导电材料的第二接合部分，

其中，第一接合部分和第二接合部分被接合为使得第一基板、第一布线结构、第二布线结构以及第二基板依次设置，以及

第一接合部分的导电材料和第二接合部分的导电材料被扩散防止膜包围。

2.如权利要求1所述的固态图像拾取设备，其中，第一接合部分包含导电材料和势垒金属，

第二接合部分包含导电材料和势垒金属，以及

扩散防止膜包括相应的势垒金属。

3.如权利要求2所述的固态图像拾取设备，其中，第一布线结构具有层间绝缘膜，在层间绝缘膜中设置有第一接合部分，以及

第一接合部分的势垒金属被设置在第一接合部分的导电材料与层间绝缘膜之间。

4.如权利要求2或3所述的固态图像拾取设备，其中，第二布线结构具有层间绝缘膜，在层间绝缘膜中设置有第二接合部分，以及

第二接合部分的势垒金属设置在第二接合部分的导电材料与层间绝缘膜之间。

5.如权利要求1至4之一所述的固态图像拾取设备，

其中，所述导电材料中的每种导电材料都包括具有比铝更高的扩散系数的金属或包括包含该金属的合金。

6.如权利要求5所述的固态图像拾取设备，其中，所述导电材料中的每种导电材料都包括铜或包括主要由铜组成的合金。

7.如权利要求1至6之一所述的固态图像拾取设备，

其中，扩散防止膜包括第一扩散防止膜，以及

第一布线结构的上面包括第一接合部分和第一扩散防止膜。

8.如权利要求7所述的固态图像拾取设备，其中，第一扩散防止膜被图案化为包围第一接合部分的周边部分。

9.如权利要求7或8所述的固态图像拾取设备，其中，第一扩散防止膜是硅氮化物膜或硅碳化物膜。

10.如权利要求1至6之一所述的固态图像拾取设备，

其中，扩散防止膜包括第二扩散防止膜，以及

第二布线结构的上面包括第二接合部分和第二扩散防止膜。

11.如权利要求10所述的固态图像拾取设备，其中，第二扩散防止膜被图案化为包围第二接合部分的周边部分。

12.如权利要求10或11所述的固态图像拾取设备，其中，第二扩散防止膜是硅氮化物膜或硅碳化物膜。

13.如权利要求1至12之一所述的固态图像拾取设备，其中，第二基板还具有基于光电转换器的电荷而输出信号的放大晶体管以及重置光电转换器的电荷的重置晶体管。

14.一种成像系统，包括：如权利要求1至13之一所述的固态图像拾取设备；以及信号处理电路，处理来自所述固态图像拾取设备的信号。