[发明专利]接合构造体制造方法及加热熔融处理方法以及它们的系统

权利要求书

1.一种接合构造体制造方法，其通过加热熔融材料将多个被接合部件之间接合以制造接合构造体，其特征在于，所述接合构造体制造方法包括：

准备在所述多个被接合部件的至少一方形成有加热熔融材料的被接合部件的步骤；

在所述多个被接合部件彼此对向的面上涂布含有沸点彼此不同的多种非还原性的有机剂的预固定剂，并通过该预固定剂将多个被接合部件之间预固定的预固定步骤；

通过在腔室内在含有羧酸蒸汽的气氛中进行加热处理，以无助熔剂的方式使所述加热熔融材料熔融并通过该加热熔融材料将多个被接合部件之间接合的接合步骤；以及

在所述接合步骤之前或在所述接合步骤之后或贯穿所述接合步骤进行的通过加热使所述预固定剂蒸发的蒸发步骤，

其中所述多种非还原性的有机剂含有：具有使得在所述加热熔融材料熔融之前蒸发的沸点的有机剂，以及具有使得在所述加热熔融材料熔融中蒸发的沸点的有机剂，

在所述蒸发步骤中，暂时提高所述腔室内的真空度，以使所述预固定剂容易蒸发。

2.如权利要求1所述的接合构造体制造方法，其通过加热熔融材料将多个被接合部件之间接合以制造接合构造体，所述接合构造体制造方法包括：

准备在所述多个被接合部件的至少一方形成有加热熔融材料的被接合部件的步骤；

在所述多个被接合部件彼此对向的面上涂布预固定剂，并通过该预固定剂将多个被接合部件之间预固定的预固定步骤；

加热被预固定的多个被接合部件，使所述预固定剂在所述加热熔融材料熔融之前或所述加热熔融材料熔融中蒸发的蒸发步骤；以及

将所述加热熔融材料熔融，以通过该加热熔融材料将多个被接合部件之间接合的接合步骤。

3.如权利要求2所述的接合构造体制造方法，其中，

所述加热熔融材料为焊料材料或共晶接合材料，所述接合步骤是将多个被接合部件之间焊接接合或共晶接合。

4.如权利要求2或3所述的接合构造体制造方法，其中，

所述接合步骤，是将设置于所述多个被接合部件中的一方的被接合部件的电极构造和设置于另一方的被接合部件的电极构造进行电连接。

5.如权利要求2所述的接合构造体制造方法，其中，

在使所述预固定剂完全蒸发后，在所述接合步骤中熔融所述加热熔融材料。

6.如权利要求5所述的接合构造体制造方法，其中，

所述预固定步骤是将非还原性有机剂的预固定剂作为所述预固定剂进行涂布的步骤，

所述接合步骤是在含羧酸蒸汽的气氛中进行加热处理且以无助熔剂的方式进行焊接接合或共晶接合的步骤。

7.如权利要求6所述的接合构造体制造方法，其中，

具有向腔室中供给所述羧酸蒸汽的供给步骤。

8.如权利要求5所述的接合构造体制造方法，其中，

在所述接合步骤之前供给所述羧酸蒸汽，

所述蒸发步骤，是在借助所述羧酸蒸汽进行的所述加热熔融材料的氧化膜的还原处理之前或与该还原处理并行地使所述预固定剂蒸发。

9.如权利要求6所述的接合构造体制造方法，其中，

所述蒸发步骤，是在所述加热熔融材料熔融之前使所述预固定剂蒸发。

10.如权利要求5所述的接合构造体制造方法，其中，

在所述接合步骤之后，在无需进行清洗除去所述预固定剂的作业的情况下在所述多个被接合部件之间充填底部填充树脂。

11.如权利要求6所述的接合构造体制造方法，其中，

所述预固定剂在压力1×10²～1×10⁵Pa之间的任一压力下具有100℃～350℃的沸点。

12.如权利要求6所述的接合构造体制造方法，其中，

所述预固定剂是选自异冰片基环己醇、松油醇，及丙二醇苯基醚中的至少一种非还原性的有机剂。

13.如权利要求6所述的接合构造体制造方法，其中，

所述预固定剂通过粘度调节剂被稀释为粘度1×10²～1×10⁵mPa·s。