[发明专利]透明导电膜及其制造方法、染料敏化太阳能电池和固体电解质电池无效
| 申请号： | 201180029542.6 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102947896A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 古谷龙也 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;C23C14/34;H01B13/00;H01L31/04;H01M4/131;H01M4/485;H01M10/0525;H01M10/0562;H01M14/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;褚海英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明 导电 及其 制造 方法 染料 太阳能电池 固体 电解质 电池 | ||
【权利要求书】：
1.一种透明导电膜，所述透明导电膜是通过使用Li4Ti5O12作为靶材，在含氮气的环境中利用物理气相沉积法形成的。
2.根据权利要求1所述的透明导电膜，其中所述物理气相沉积法是溅射法。
3.根据权利要求2所述的透明导电膜，其中所述溅射法是RF磁控溅射法。
4.一种透明导电膜制造方法，所述方法包括如下步骤：
使用Li4Ti5O12作为靶材，在含氮气的环境中利用物理气相沉积法形成所述透明导电膜。
5.一种染料敏化太阳能电池，其包括：
透明导电层；
光电极层；
电解质层；以及
对电极，
其中，所述透明导电层包含透明导电膜，所述透明导电膜是通过使用Li4Ti5O12作为靶材，在含氮气的环境中利用物理气相沉积法形成的。
6.一种固体电解质电池，其包括：
阴极层；
阳极层；以及
固体电解质层，
其中，所述阳极层包含透明导电膜，所述透明导电膜是通过使用Li4Ti5O12作为靶材，在含氮气的环境中利用物理气相沉积法形成的。
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