[发明专利]成膜装置

权利要求书

1. 一种成膜装置，其特征在于，

具有：

真空槽；

中空的放出容器，配置于所述真空槽内并设有多个放出孔；

多个管状的导入部，配置于所述放出容器的中空部分；

气体供给部，将原料气体供给至各所述导入部；以及

基板保持部，将基板保持在与所述放出容器的所述放出孔相对的位置，

各所述导入部的外周侧面紧贴在所述放出容器的面向所述中空部分的壁面，

在各所述导入部的所述紧贴的部分，设有使所述导入部的内部空间和所述放出孔连通的贯通孔。

2. 根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，各所述导入部相互平行地朝向所述放出容器的所述壁面并等间隔地配置在所述放出容器的所述壁面。

3. 根据权利要求1或权利要求2中的任1项所述的成膜装置，其特征在于，

所述气体供给部具有将第一原料气体放出的第一气体供给部和将第二原料气体放出的第二气体供给部，

所述导入部之中的至少一个所述导入部连接于所述第一气体供给部，另外的所述导入部连接于所述第二气体供给部。

4. 根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，连接于所述第一气体供给部的所述导入部和连接于所述第二气体供给部的所述导入部交替并列地配置在所述放出容器的所述壁面。

5. 根据权利要求1或权利要求2中的任1项所述的成膜装置，其特征在于，

具有：

多个副配管，配置在所述放出容器的所述中空部分并在外周侧面设有多个副贯通孔，所述外周侧面的所述副贯通孔的外周部分与所述放出容器的所述壁面离开；以及

多个连接管，一端连接于所述副贯通孔且另一端连接于所述放出孔而使所述副贯通孔和所述放出孔连通，

所述气体供给部具有将第一原料气体放出的第一气体供给部和将第二原料气体放出的第二气体供给部，

所述配管连接于所述第一气体供给部，所述副配管连接于所述第二气体供给部。

6. 根据权利要求1或权利要求2中的任1项所述的成膜装置，其特征在于，构成为在所述放出容器的容器壁设有导入口和排出口，被管理温度的冷媒从所述导入口被导入所述放出容器的所述中空部分，从所述排出口排出所述冷媒。