[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.太阳能电池(1)，其包括正面(10)和背面(20)，

其中所述太阳能电池(1)包括正面(10)处的发射极层(11)和背面(20)处的基层(12)，其中使正面(1)接受光，由此在正面(10)处收集第一载流子，并在背面(20)处收集与第一载流子类型相反的第二载流子，

其中太阳能电池(1)还包括设置在背面(20)处的至少一个集电点(14’)和在正面(1)和至少一个集电点(14’)之间的相应的导电路径，所述导电路径提供正面(10)和背面(20)之间的电连接以将第一载流子从正面(10)引导至背面(20)处的至少一个集电点(14’)，

其特征在于，在至少部分的所述导电路径和基层(12)之间设置绝缘层(40)以在所述导电路径和基层(12)之间提供电绝缘。

2.权利要求1的太阳能电池，其中所述导电路径通过至少延伸穿过基层(12)的通孔(30)形成，并且绝缘层(40)设置在至少部分通孔(30)的周围以在通孔(30)和基层(12)之间提供绝缘。

3.权利要求2的太阳能电池，其中通孔(30)填充有导电材料(18)，所述导电材料包括0.1-10%w/w的含氧化物的化合物或硅酸盐，例如SiO_x、AlO_x、PbO_x、ZrO_x、TiO_x、BiO_x、ZnO、CdO、SnO_x、BO_x和/或PO_x。

4.权利要求2的太阳能电池，其中所述发射极层通过发射极材料形成，并且通孔(30)至少部分地填充有发射极材料。

5.权利要求1的太阳能电池，其中所述导电路径通过沿所述太阳能电池的侧缘(17)设置的导电材料形成，其中绝缘层(40)设置在所述导电路径和基层(12)之间以在所述导电材料和基层(12)之间提供绝缘。

6.前述权利要求之一的太阳能电池(1)，其中太阳能电池(1)是具有全金属背面的太阳能电池以及具有钝化的背面和在背面处的导电元件(24)模式的双面的太阳能电池(1)中的一种。

7.前述权利要求之一的太阳能电池(1)，其中绝缘层(40)是氧化物层。

8.根据权利要求7的太阳能电池(1)，其中绝缘层(40)是金属氧化物层或SiO_x、AlO_x、PbO_x、BiO_x、ZrO_x、TiO_x、ZnO、SnO_x、BO_x、CdO和/或PO_x中的一种或组合。

9.根据权利要求7的太阳能电池(1)，其中绝缘层(40)是介电层，例如氧化硅层或氮化硅层。

10.前述权利要求之一的太阳能电池(1)，其中设置绝缘层(40)以避免导电材料(18)和基层(12)之间的直接电接触。

11.前述权利要求之一的太阳能电池(1)，其中至少一个集电点(14’)包括背对太阳能电池(1)的接触区域(141)和面对基层(12)的背区域(142)，其中绝缘层(40)还设置在集电点(14’)的背区域(142)和基层(12)之间。

12.太阳能电池板，其包括两个或更多个前述权利要求之一的太阳能电池。

13.制造太阳能电池的方法，所述方法包括：

-提供半导体衬底，所述半导体衬底具有正面(10)和背面(20)，

-在所述半导体衬底的正面(10)上形成发射极层(11)，

-从正面(10)至背面(20)上的相应集电点(14’)形成至少一个导电路径，

其特征在于，所述方法还包括

-形成绝缘层(40)以在所述导电路径和基层(12)之间提供绝缘。

14.权利要求13的方法，其中所述导电路径是至少延伸穿过基层(12)的通孔(30)，并且形成绝缘层(40)包括至少围绕通孔(30)的一部分形成绝缘层(40)以在通孔(30)和基层12之间提供绝缘。