[发明专利]用于使用于冷离子注入的扭转轴线升温的有效方法

权利要求书

1.一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，所述方法包括以下步骤：

提供扫描臂和末端执行器，所述扫描臂被构造成绕着第一轴线旋转，所述末端执行器通过扭转电动机能够旋转地连接到所述扫描臂并被构造成选择性地固定工件，其中所述末端执行器进一步被构造成绕着第二轴线旋转并具有与所述第二轴线和所述扭转电动机相关联的轴承和密封件，其中所述第一轴线和所述第二轴线被定位成分隔开预定距离；

启动所述扭转电动机；

如果所述扭转电动机使所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转，则在预定时间之后或当所述扭转电动机出现故障时使所述扭转电动机的旋转反向；

确定所述末端执行器绕着所述第二轴线的旋转是否可接受；和

当所述末端执行器的旋转不可接受时，使所述扫描臂绕着所述第一轴线往复运动，其中所述末端执行器的惯性造成所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述轴承和所述密封件中的一个或多个包括铁磁流体。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述在预定时间之后使所述扭转电动机的旋转反向的步骤包括接连增加所述预定时间的持续时间。

4.如权利要求1所述的方法，其中，当所述末端执行器旋转预定量时，所述末端执行器绕着所述第二轴线的旋转被确定为是可接受的。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述预定量包括绕着所述第二轴线的约为30度的旋转。

6.如权利要求1所述的方法，还包括以下步骤：

沿基本上垂直于所述第一轴线的方向移动所述扫描臂，其中所述扫描臂绕着所述第一轴线的往复运动基本上避免所述末端执行器与处理介质相交。

7.如权利要求6所述的方法，其中，所述处理介质包括离子束。

8.如权利要求1所述的方法，其中，所述扫描臂绕着所述第一轴线的往复运动与未执行所述离子注入的时间段同时执行，其中保持所述轴承和/或密封件的相对低的粘度。

9.一种用于使被冷却的离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，所述方法包括以下步骤：

提供构造成产生离子束的离子注入系统；

提供构造成选择性地使工件通过所述离子束的工件扫描系统，其中所述工件扫描系统包括构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及在距离所述第一轴线预定距离处能够旋转地连接到所述扫描臂的末端执行器，其中所述末端执行器被构造成选择性地夹持其上的所述工件，并且其中所述末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转；

冷却所述末端执行器，其中与所述末端执行器绕着所述第二轴线的旋转相关联的轴承和密封件中的一个或多个被冷却，其中降低所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转的能力；和

使所述扫描臂绕着所述第一轴线旋转，其中所述末端执行器的惯性造成所述末端执行器绕着所述第二轴线旋转。

10.如权利要求9所述的方法，其中，所述轴承和所述密封件中的一个或多个包括铁磁流体。

11.一种使用在离子注入系统中的工件扫描系统，所述工件扫描系统包括：

扫描臂，所述扫描臂被构造成绕着第一轴线旋转；

末端执行器，所述末端执行器能够旋转地连接到所述扫描臂并被构造成选择性地固定工件，其中所述末端执行器进一步被构造成绕着第二轴线旋转，其中所述第一轴线和所述第二轴线被定位成分隔开预定距离，并且其中所述末端执行器包括夹持板；

轴承，所述轴承沿着所述第二轴线定位，其中所述轴承将所述末端执行器能够旋转地连接到所述扫描臂；

密封件，所述密封件沿着所述第二轴线定位，其中所述密封件大致提供外部环境和与所述扫描臂和所述末端执行器中的一个或多个的内部区域相关联的内部环境之间的压力阻隔；和

控制器，所述控制器被构造成至少部分地根据来自扭转电动机的反馈和绕着所述第二轴线旋转的预定度数，使所述末端执行器选择性地绕着所述第二轴线旋转和反转，且其中所述控制器被进一步构造成至少部分地根据来自所述扭转电动机的反馈和/或离子注入系统的状态，使所述扫描臂选择性地绕着所述第一轴线往复运动，其中所述扫描臂的选择性往复运动造成所述末端执行器由于惯性绕着所述第二轴线旋转。