[发明专利]实现偏振输出激光束的高速强度变化的方法

权利要求书

1.一种实现偏振输出激光束的高速强度变化的方法，其包括：

产生输入激光束，其沿着光束路径的第一部分向工件上的目标位置传播；

设置电流计系统，其包含与可旋转驱动轴配合来使所述可旋转驱动轴围绕垂直于所述光束路径的所述第一部分的旋转轴旋转的电流计驱动构件，所述电流计驱动构件使所述可旋转驱动轴围绕所述旋转轴旋转，从而提供所述可旋转驱动轴在所选择的角位置之间的高速转变；以及

将光入射敏感光学元件的角度紧固至所述可旋转驱动轴，从而实现所述光入射敏感光学元件的角度围绕所述旋转轴的旋转，所述光入射敏感光学元件的角度包含平面光学薄膜，所述平面光学薄膜经定位以与所述光束路径的所述第一部分相交，以使得所述输入激光束以由所述可旋转驱动轴的角位置确定的入射角入射在所述平面光学薄膜上，所述平面光学薄膜从所述输入激光束产生沿着所述光束路径的第二部分向所述工件上的所述目标位置传播的偏振输出激光束，所述偏振输出激光束的特征为随所述输入激光束与所述平面光学薄膜之间的所述入射角而变化的强度，由所述电流计驱动构件提供的所述可旋转驱动轴的所述高速转变改变所述输入激光束与所述平面光学薄膜之间的所述入射角，由此实现所述偏振输出激光束的所述强度的高速变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述平面光学薄膜将所述输入激光束分成第一及第二光分量，由此产生所述偏振输出激光束，所述偏振输出激光束对应于所述第一光分量。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述平面光学薄膜通过透射所述第一光分量穿过所述平面光学薄膜并且通过使所述第二光分量从所述平面光学薄膜反射来将所述输入激光束分成所述第一及第二光分量。

4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括设置经定位以与从所述平面光学薄膜反射的所述第二光分量相交的激光收集元件，所述激光收集元件吸收所述第二光分量以抑制其到达所述工件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述光入射敏感光学元件的角度是薄膜偏振器。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述光入射敏感光学元件的角度引入所述光束路径的所述第一与第二部分之间的光束偏移，所述方法进一步包括定位光束位移光学元件来与所述光束路径的所述第二部分相交，以使得所述偏振输出激光束入射在所述光束位移光学元件上，所述光束位移光学元件沿着所述光束路径的第三部分向所述目标位置传输所述偏振输出激光束的至少一部分，并且所述光束位移光学元件使所述光束路径的所述第三部分相对于所述光束路径的所述第二部分移置补偿所述光束路径的所述第一与第二部分之间的所述光束偏移的位移量。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述电流计驱动构件是第一电流计驱动构件，所述可旋转驱动轴是第一可旋转驱动轴，所述平面光学薄膜与所述输入激光束之间的所述入射角是第一入射角，并且所述旋转轴是第一旋转轴，所述方法进一步包括设置第二电流计驱动构件，所述第二电流计驱动构件与第二可旋转驱动轴配合来使所述第二可旋转驱动轴围绕垂直于所述光束路径的所述第二部分的第二旋转轴旋转，所述光束位移光学元件紧固至所述第二可旋转驱动轴以实现所述光束位移光学元件围绕所述第二旋转轴的旋转，并且所述第二电流计驱动构件使所述第二可旋转驱动轴与所述光束位移光学元件围绕所述第二旋转轴旋转来调整所述光束位移光学元件与所述偏振输出激光束之间的第二入射角。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述光束路径的所述第一与第二部分之间的所述光束偏移的程度随所述第一入射角而变并且所述光束路径的所述第二与第三部分之间的所述位移量随所述第二入射角而变，所述第二电流计驱动构件使所述第二可旋转驱动轴与所述光束位移光学元件围绕所述第二旋转轴旋转，由此响应于所述光束偏移的改变调整所述位移量。

9.根据权利要求6所述的方法，其中所述光束位移光学元件是经抗反射涂布的板。

10.根据权利要求6所述的方法，其中所述光束位移光学元件是薄膜偏振器。