[发明专利]电感应气密隧道炉

权利要求书

1.一种电感应气密隧道炉，包括：

炉外壳，沿着炉外壳的纵向长度形成闭合的隧道区域，工件通过隧道外壳以感应加热，炉外壳的闭合隧道区域具有工件进入端和工件退出端；

位于工件进入端的炉外壳进入端凸缘和位于工件退出端的炉外壳退出端凸缘；

感应线圈，围绕炉外壳的闭合的隧道区域的纵向长度布置；

改进包括：

屏蔽材料，形成围绕炉外壳的纵向长度的外部的气密屏蔽腔，屏蔽材料具有与炉外壳进入端凸缘的密封的进入端接口和与炉外壳退出端凸缘的密封的退出端接口。

2.根据权利要求1所述的电感应气密隧道炉，其中感应线圈布置在屏蔽材料外部。

3.根据权利要求1所述的电感应气密隧道炉，还包括布置在炉外壳进入或退出端凸缘内的屏蔽气体入口管道，屏蔽气体入口管道形成进入气密屏蔽腔的屏蔽气体进入通道。

4.根据权利要求3所述的电感应气密隧道炉，还包括屏蔽气体出口管道，屏蔽气体出口管道形成从气密屏蔽腔的屏蔽气体退出通道。

5.根据权利要求1所述的电感应气密隧道炉，还包括形成与炉外壳进入端凸缘的进入气密连接的互联进入气密元件和形成与炉外壳退出端凸缘的退出气密连接和互联退出气密元件。

6.根据权利要求1所述的电感应气密隧道炉，其中，感应线圈布置在气密屏蔽腔内。

7.根据权利要求1所述的电感应气密隧道炉，其中，与炉外壳进入端凸缘的密封的进入端接口是通过延伸屏蔽材料和炉外壳进入端凸缘之间的炉外壳形成的，屏蔽材料和炉外壳进入端凸缘之间的炉外壳形成了炉外壳进入端凸缘密封的接口；并且与炉外壳退出端凸缘的密封的退出端接口是通过延伸屏蔽材料和炉外壳退出端凸缘之间的炉外壳形成的，屏蔽材料和炉外壳进入端凸缘之间的炉外壳形成了炉外壳退出端凸缘密封的接口。

8.根据权利要求7所述的电感应气密隧道炉，还包括屏蔽气体入口管道，布置在屏蔽材料内以形成进入气密屏蔽腔的屏蔽气体进入通道。

9.根据权利要求8所述的电感应气密隧道炉，还包括屏蔽气体出口管道，形成从气密屏蔽腔的屏蔽气体退出通道。

10.根据权利要求7所述的电感应气密隧道炉，还包括：

沿着炉外壳的纵向长度布置在炉外壳附近的闭合隧道区域内的热绝缘物；和

屏蔽气体注射器，用于在热绝缘物和炉外壳退出端凸缘密封的接口之间的第一区域内或热绝缘物和炉外壳退出端凸缘密封的接口之间的第二区域内注射屏蔽气体。

11.根据权利要求3所述的电感应气密隧道炉，还包括：

气体调节器，具有连接至屏蔽气体入口管道的调节的气体出口；

连接至气体调节器输入的屏蔽气体的提供物；和

压力传感器，将反馈压力信号提供给气体调节器以调节向调节的气体输出提供屏蔽气体。

12.根据权利要求11所述的电感应气密隧道炉，其中反馈压力信号与气密屏蔽腔中的屏蔽气体的压力和闭合的隧道区域内工艺气体的压力之间的压力差成比例，电感应气密隧道炉还包括压力控制器，具有输出故障信号以控制工艺气体从闭合的隧道区域流动。

13.一种防止工艺气体从电感应气密炉泄露的方法，电感应气密炉包括炉外壳，沿着炉外壳的纵向长度形成闭合的隧道区域，工件通过隧道外壳以感应加热，炉外壳的闭合隧道区域具有工件进入端和工件退出端；工艺气体至少包含在闭合的隧道区域；位于工件进入端的炉外壳进入端凸缘和位于工件退出端的炉外壳退出端凸缘；和感应线圈，围绕炉外壳的闭合的隧道区域的纵向长度布置；所述方法包括：

在围绕炉外壳的纵向长度的外部提供屏蔽材料；和

通过密封屏蔽材料和炉外壳进入端凸缘之间的进入端接口和通过密封屏蔽材料和炉外壳退出端凸缘之间的退出端接口，围绕炉外壳的纵向长度的外部形成气密腔。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤：通过布置在炉外壳进入端凸缘、炉外壳退出端凸缘或屏蔽材料内的屏蔽气体入口管道将屏蔽气体提供给气密屏蔽腔。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括以下步骤：从气密屏蔽腔排净屏蔽气体。