[发明专利]被加工物保持器、金属线放电加工装置、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法

权利要求书

1.一种被加工物保持器，在通过来自相互隔开间隔而并排的金属线电极的放电来切割被加工物的金属线放电加工装置的切割加工时保持所述被加工物，该被加工物保持器的特征在于，

形成有大致无间隙地嵌入所述被加工物的嵌入部，

在与嵌入在所述嵌入部的所述被加工物一起进行切割加工时，呈现所述被加工物保持器和所述被加工物与所述金属线电极相对置的部分的、沿着所述金属线电极的长度在所述被加工物的切割加工中大致固定的外形。

2.根据权利要求1所述的被加工物保持器，其特征在于，所述外形是长方体形状。

3.根据权利要求1或者2所述的被加工物保持器，其特征在于，所述嵌入部是通孔。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的被加工物保持器，其特征在于，具备固定单元，该固定单元设置在与由所述金属线电极的切割部位分离的位置，固定嵌入在所述嵌入部的所述被加工物。

5.根据权利要求4所述的被加工物保持器，其特征在于，所述固定单元是从所述被加工物保持器的外侧插入而能够突出到所述嵌入部的内侧的螺丝。

6.根据权利要求3所述的被加工物保持器，其特征在于，具备堵住所述通孔的盖子。

7.根据权利要求1~6中的任一项所述的被加工物保持器，其特征在于，所述被加工物保持器能够由包含所述嵌入部的分割面进行分割。

8.根据权利要求1~7中的任一项所述的被加工物保持器，其特征在于，所述嵌入部相对于并排的所述金属线电极平行地形成为多个。

9.一种金属线放电加工装置，其特征在于，具备：

金属线电极，相互隔开间隔而并排设置，而且设置成与被加工物相对置；

加工用电源，产生脉冲状的加工用电压；

多个供电接头单元，与所述多个金属线电极的各个电连接，在所述金属线电极与所述被加工物之间分别施加所述加工用电压；以及

被加工物保持器，形成有大致无间隙地嵌入所述被加工物的嵌入部，在与嵌入在所述嵌入部的所述被加工物一起通过所述金属线电极来进行切割加工时，呈现所述被加工物保持器和所述被加工物与所述金属线电极相对置的部分的、沿着所述金属线电极的长度在所述被加工物的切割加工中大致固定的外形。

10.根据权利要求9所述的金属线放电加工装置，其特征在于，所述加工用电源根据所述被加工物和所述金属线电极相对置的部分的长度来改变脉冲频率。

11.根据权利要求10所述的金属线放电加工装置，其特征在于，还具备根据所述被加工物和所述金属线电极相对置的长度来计算脉冲频率以使得放电加工间隙大致固定的单元。

12.根据权利要求10所述的金属线放电加工装置，其特征在于，还具备存储预先算出的脉冲频率的数据使得放电加工间隙大致固定的单元。

13.根据权利要求10所述的金属线放电加工装置，其特征在于，具备增加单元，该增加单元在从切割加工的开始起至加工稳定为止的区间中，在维持脉冲频率与金属线电极的进给速度的比率的状态下，逐渐地增加脉冲频率和金属线电极的进给速度。

14.一种薄板制造方法，在形成于通过来自相互隔开间隔而并排的金属线电极的放电来切割被加工物的金属线放电加工装置的切割加工时保持所述被加工物的被加工物保持器、且能够大致无间隙地嵌入被加工物的嵌入部中嵌入所述被加工物，

在所述金属线电极与所述被加工物保持器之间，经由与所述金属线电极的各个电连接的多个供电接头单元施加脉冲状的加工用电压，该薄板制造方法的特征在于，

所述被加工物保持器，在所述被加工物与所述被加工物保持器一起被切割时，呈现所述被加工物保持器和所述被加工物与所述金属线电极相对置的部分的、沿着所述金属线电极的长度在所述被加工物的切割加工中大致固定的外形。

15.根据权利要求14所述的薄板制造方法，其特征在于，根据所述被加工物和所述金属线电极相对置的长度来改变加工用电压的脉冲频率。