[发明专利]电致发光样本分析装置

权利要求书

1.一种分析电致发光样本的装置，包括：

脉冲发生器，所述脉冲发生器被配置为将脉冲驱动信号施加到所述电致发光样本；

电致发光检测器，所述电致发光检测器被配置为通过接收由于所述脉冲驱动信号的施加而从所述电致发光样本发射的电致发光来获得光接收信号；

温度控制器，所述温度控制器被配置为改变所述电致发光样本的温度；以及

电致发光瞬态光谱分析单元，所述电致发光瞬态光谱分析单元被配置为通过分析所述光接收信号的瞬态部分根据所述电致发光样本的温度变化的变化来获得与在所述电致发光样本中存在的缺陷电荷陷阱有关的信息。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述脉冲发生器被配置为产生与所述电致发光样本通过所述温度控制器的温度变化相对应的方波脉冲，以及

其中，所述电致发光检测器被配置为在所述方波脉冲被施加时响应于所述方波脉冲来检测从所述电致发光样本中发射的电致发光。

3.如权利要求1所述的装置，其中，通过所述电致发光检测器获得的所述光接收信号是光电流信号、光电压信号以及电容信号中的一个，以及

其中，所述电致发光瞬态光谱分析单元被配置为通过在所述光接收信号的瞬态部分对两个时间点采样、计算在两个采样时间点处的光接收信号的差、以及利用所述光接收信号的差根据温度变化而变化的关系，来获得与所述缺陷电荷陷阱的激活能级、所述缺陷电荷陷阱的浓度以及所述缺陷电荷陷阱的捕获截面有关的信息中的至少一个。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述电致发光瞬态光谱分析单元被配置为还通过分析在固定温度下获得的光接收信号的瞬态部分来获得寿命信息，以及

其中，所述寿命信息是与少数载流子和所述缺陷电荷陷阱有关的信息中的至少一个，并且能够通过计算呈指数地变化的瞬态部分的时间常数来获得。

5.如权利要求1所述的装置，还包括：

摄像设备，所述摄像设备被配置为获得从所述电致发光样本发射的电致发光的电致发光图像；以及

表面缺陷分析单元，所述表面缺陷分析单元被配置为基于所述电致发光图像来分析所述电致发光样本的表面缺陷。

6.如权利要求5所述的装置，其中，显微镜在所述电致发光的光路上置于所述摄像设备的前面，以及

其中，所述表面缺陷分析单元被配置为基于在微单元中从所述摄像设备获得的电致发光图像来分析所述电致发光样本的表面缺陷。

7.如权利要求6所述的装置，还包括光分离器，所述光分离器被配置为以将从所述电致发光样本发射的电致发光中的一些电致发光输入到所述电致发光检测器而将另一些电致发光输入到所述显微镜的方式来光分离。

8.如权利要求1所述的装置，还包括分光镜，所述分光镜被配置为仅检测从所述电致发光样本中发射的电致发光的期望的波长或阻断不期望的波长。