[发明专利]螺杆真空泵

权利要求书

1.螺杆真空泵，具有：

构成泵腔（10）的泵壳；

两个设置在所述泵腔（10）中的螺杆转子（12、14），所述螺杆转子分别通过两个支承元件（20）支承在所述泵壳中，并且所述螺杆转子的转子长度（l）与转子轴线的距离（d）的比大于3.0，

其中，所述螺杆转子（12、14）具有可变的螺距、至少7个螺旋圈和至少4.5的机内压缩比，并且

其中，所述螺距在一半的螺旋圈之后小于两倍的在压力侧上的转子出口（24）上的螺距。

2.根据权利要求1所述的螺杆真空泵，其特征在于，每个螺杆转子（12、14）具有仅一个螺纹线。

3.根据权利要求1或2所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆转子（12、14）的外形基本上对称或不对称。

4.根据权利要求1-3之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，仅有效地冷却所述泵壳，以进行散热。

5.根据权利要求1-4之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，转子长度（l）与转子轴线的距离（d）的所述比大于3.5，尤其大于4。

6.根据权利要求1-5之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，每个螺杆真空泵（12、14）设有至少9个螺旋圈，优选至少11个螺旋圈。

7.根据权利要求1-6之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述压缩比为至少5，优选为至少6。

8.根据权利要求1-7之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，间隙高度选择为，使得得到真空泵的至少5Pa的最终压力。

9.根据权利要求1-8之一所述的螺杆真空泵，其特征在于，所述最大转速大于每分钟5000转。

10.根据权利要求1-9之一所述的螺杆真空泵，设有一个或多个过压阀和/或能够通过转速控制来控制转子转速，以避免在压力侧的区域（28）中的过压缩。