[发明专利]用于通过x射线束的散射来分析样品的光学设备及相关的准直设备和准直仪

权利要求书

1.一种用于X射线束的准直设备，其特征在于其包括意图被放置在真空或受控气氛下的外壳(110)，该外壳(110)包括用于射束的入口(120)和出口(121)以及由具有衍射周期性结构的材料制成的至少一个板(104)，所述板(104)包括两个主面(104a，104b)和在所述面之间加宽的至少一个孔(104c)。

2.如权利要求1所述的设备，其中，参考射束的传播方向，所述至少一个板的主面(104a，104b)中的一个(104a)是上游面，并且另一个(104b)是下游面，所述孔(104c)从板的上游面(104a)至下游面(104b)加宽。

3.如前述权利要求中的一项所述的设备，其中，由具有衍射周期性结构的材料制成的所述至少一个板(104)被布置在所述外壳的出口(121)的水平处。

4.如前述权利要求所述的设备，其中，在所述外壳(110)的入口的水平处提供由具有衍射周期性结构的材料制成的至少一个其他板(104′)，此其他板(104′)包括两个主面(104′a，104′b)和在所述面之间加宽的至少一个孔(104′c)。

5.如前述权利要求所述的设备，其中，参考射束的传播方向，所述至少一个其他板(104′)的主面(104′a，104′b)中的一个(104′a)是上游面，并且另一个(104′b)是下游面，所述孔(104′c)从板的上游面(104′a)至下游面(104′b)加宽。

6.如权利要求4或5中的一项所述的设备，其中，所述两个板(104，104′)是相同的。

7.如权利要求4或5中的一项所述的设备，其中，所述两个板(104，104′)显示不同的孔(104c，104′c)。

8.如前述权利要求中的一项所述的设备，其中，在所述孔(104c，104′c)的加宽的方向(D)与所述主面(104a，104′a，104b，104′b)中的一个之间形成的锐角θ在10°和80°之间。

9.如前述权利要求所述的设备，其中，角θ等于在形成板(104)的衍射周期性结构的材料的两个结晶面之间的角。

10.如前述权利要求所述的设备，其中：

—所述板的主面(104a，104′a，104b，104′b)对应于单晶材料的{100}平面；以及

—连接此板的所述主面(104a，104b)的孔(104c)的面对应于{111}平面。

11.如前述权利要求中的一项所述的设备，其中，所述或每个板(104，104′)由单晶材料制成。

12.如前述权利要求中的一项所述的设备，其中，所述或每个板(104，104′)由从硅或锗之中选择的材料制成。

13.一种用于通过X射线束的散射来分析样品(104)的光学设备(100)，其特征在于其包括如前述权利要求中的一项所述的用于使射束准直的设备。

14.如前述权利要求所述的光学设备(100)，其中，提供了X射线源(101，102)。

15.如前述权利要求所述的光学设备(100)，其中，X射线源(101，102)产生单色射束。

16.如权利要求13至15中的一项所述的光学设备(100)，其中提供了意图被放置在真空或受控气氛下的另一外壳(106)，此另一外壳(106)被布置在样品(105)的下游，包括用于使X射线束停止的装置(107)。

17.如前述权利要求所述的光学设备(100)，其中，提供了布置在所述另一外壳(106)的下游的检测器(108)。

18.一种用于X射线束的准直仪，其特征在于其包括多个部分(104₁，104₂，104₃，104₄，104₅)，每个部分由具有衍射周期性结构的材料制成，包括在此部分的厚度中加宽的至少一个孔，所述孔(104C)的面由沿着此孔(104C)的纵轴(A₁₀₄)形成锯齿结构的准直仪的每个部分的孔的组件形成。