[发明专利]基板支撑结构、夹持准备单元、以及光刻系统

权利要求书

1.一种基板支撑结构（13），用于借助于液体毛细管层（11）将基板（12）夹持于表面（16）上，该表面具有外部边缘（28），且包含用于接收待夹持的基板的一个或多个基板支撑元件（17），

其中，所述一个或多个基板支撑元件被配置成在多个支撑位置处为所述基板提供支撑，

其中所述基板支撑结构进一步包括密封结构（21），该密封结构（21）包围所述表面并具有形成密封边缘的顶部表面或边缘（22、24、26），以及

其中在所述表面的外部边缘与最外侧支撑位置之间的距离（c）大于所述外部边缘与所述密封边缘之间的距离（d）。

2.如权利要求1所述的基板支撑结构，其中在所述密封边缘与所述最外侧支撑位置之间的距离（c+d）大于相邻的支撑位置之间的最大距离。

3.如权利要求1或2所述的基板支撑结构，其中所述表面的外部边缘与所述最外侧支撑位置之间的距离（c）大于或等于所述外部边缘与所述密封边缘之间的距离（d）的二倍。

4.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述密封边缘与所述最外侧支撑位置之间的距离（c+d）大于或等于相邻的支撑位置之间的最大距离的二倍。

5.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述表面的外部边缘与所述最外侧支撑位置之间的距离（c）大于或等于相邻的支撑位置之间的最大距离的二倍。

6.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述表面的外部边缘与最外侧支撑位置之间的距离（c）等于或大于支撑位置之间的标称距离，以及其中所述外部边缘与所述密封边缘之间的距离（d）等于或小于该标称距离。

7.一种基板支撑结构（13），用于借助于液体毛细管层（11）将基板（12）夹持于表面（16）上，该表面具有外部边缘（28），且包含用于接收待夹持的基板的一个或多个基板支撑元件（17），

其中，所述一个或多个基板支撑元件被配置成在多个支撑位置处为所述基板提供支撑，

其中所述基板支撑结构进一步包括密封结构（21），该密封结构（21）包围所述表面并具有形成密封边缘的顶部表面或边缘（22、24、26），以及

其中在所述表面的外部边缘与最外侧支撑位置之间的距离（c）等于或大于支撑位置之间的标称距离，以及其中所述外部边缘与所述密封边缘之间的距离（d）等于或小于该标称距离。

8.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中一个或多个基板支撑元件在多个支撑位置处为所述基板提供支撑，该多个支撑位置配置成具有相互节距的规则图案，且所述密封边缘与最接近该密封边缘的支撑位置之间的距离超过该节距。

9.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述密封边缘基本上与所述基板支撑元件的顶部同高。

10.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述表面（16）进一步包括具有不同毛细管势能的部分（41、51、52、83），用于在夹持期间，在所述液体夹持层内诱导出预定的毛细管流。

11.如权利要求10所述的基板支撑结构，其中具有不同毛细管势能的部分至少部分设在所述基板支撑结构的接收表面的周边处。

12.如权利要求10或11所述的基板支撑结构，其中在所述液体夹持层内的预定毛细管流在朝向所述液体夹持层的周边的方向上。

13.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中围绕所述表面（16）提供缘沟（19），该缘沟包含位于所述表面的周边处的较高阶梯部分（83）。

14.如权利要求13所述的基板支撑结构，其中所述基板支撑元件的顶部表面与所述缘沟（19）的阶梯部分（83）之间的高度差大于或等于所述基板支撑元件的高度的两倍。

15.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，其中所述表面具有用于形成多个隔间（65）的凸起结构（63）。

16.如权利要求15所述的基板支撑结构，其中所述凸起结构的高度小于所述基板支撑元件的高度。

17.如前述权利要求中任一项所述的基板支撑结构，进一步包括用于将在所述表面周围处的液体移除的液体清除系统（23，25）。