[发明专利]发光装置的制造方法无效
申请号: | 201180017123.0 | 申请日: | 2011-03-24 |
公开(公告)号: | CN103098550A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 海保昭雄 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;H01L51/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 装置 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及发光装置的制造方法。
背景技术
有机EL(Electro Luminescence)元件包含第一电极、有机EL层和第二电极而构成。有机EL元件通过将构成元件的各构成要素依次层叠而制作。
构成有机EL元件的一部分的有机EL层能够采用涂布法形成。例如通过采用规定的涂布法将包含形成有机EL层的材料的涂布液涂布成膜,进而使其固化,从而能够形成有机EL层。
在将涂布液涂布的方法中有各种方法。其中的1种,有利用了毛细管现象的毛细管涂布法。毛细管涂布法中,将向上方排出涂布液的喷嘴配置在被涂布体的下方,使从该喷嘴排出的涂布液与被涂布体接触,进而维持涂布液与被涂布体接触的状态,同时使喷嘴或被涂布体移动,从而将涂布液涂布于被涂布体(参照例如专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2004-164873号公报
发明内容
发明要解决的课题
有机EL元件的发光强度也依赖于有机EL层的膜厚,因此形成有机EL层时如果其膜厚产生不均匀,起因于该膜厚的不均匀而产生亮度不均。因此,要求以膜厚变得均一的方式形成有机EL层。但是,对于毛细管涂布法,难以得到均一的膜厚的涂布膜,特别是使涂布液与被涂布体接触的位置附近的膜厚与其他部位相比存在厚膜化的倾向。
因此,本发明的目的在于提供能够采用毛细管涂布法形成膜厚的不均匀受到抑制的有机EL层的发光装置的制造方法。
用于解决课题的手段
本发明涉及发光装置的制造方法,所述发光装置具有支撑基板及在所述支撑基板上设置的有机EL元件,所述有机EL元件通过将第一电极、有机EL层和第二电极依次在支撑基板上层叠而构成,所述制造方法包括如下工序:使喷嘴接近配置在该喷嘴的上方的包含所述支撑基板的被涂布体,使从喷嘴排出的涂布液与所述被涂布体接触,在所述涂布液与所述被涂布体接触的状态下,使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动而将所述涂布液涂布成膜,形成所述有机EL层,所述喷嘴与贮存形成有机EL层的涂布液的罐连通,将从该罐供给的所述涂布液排出;在使所述涂布液接触后,且使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动前,在维持所述涂布液接触的状态下,使所述罐下降至比开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置还低的位置,然后,使所述罐上升到开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置。
此外,本发明涉及发光装置的制造方法,其中,使涂布液离开时,在使罐下降后再使喷嘴下降,使涂布液离开。
此外,本发明涉及发光装置的制造方法,其中,所述涂布液包含沸点不到170℃的低沸点溶剂。
此外,本发明涉及发光装置的制造方法,其中,所述涂布液包含相对于总重量为30重量%~50重量%的沸点不到170℃的低沸点溶剂。
发明的效果
根据本发明,能够采用毛细管涂布法形成膜厚的不均匀受到抑制的有机EL层。
附图说明
图1是示意地表示帽型涂布机系统11的图。
图2是喷嘴13的侧面图。
图3是从图2的剖面线III-III看到的喷嘴13的剖面图。
图4是从图3的剖面线IV-IV看到的喷嘴13的剖面图。
图5是表示帽型涂布机系统11的动作的时间图。
图6是表示涂布膜的膜厚的坐标图。
图7是表示涂布膜的膜厚的坐标图。
图8是表示涂布膜的膜厚的坐标图。
图9是表示涂布膜的膜厚的坐标图。
图10是表示涂布膜的膜厚的坐标图。
具体实施方式
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