[发明专利]用于执行图案对准的方法和装置

权利要求书

1.一种在写入机中图案化工件的一层的方法，其中所述写入机包括：

图案写入站，其设置有写入机坐标系；以及

测量站，其设置有测量坐标系，所述测量站被配置成执行与基准特征相关的工件上的物体的测量，其中所述工件还放置在承载台上，且其中所述写入机被配置成在所述测量站和所述写入站之间移动所述承载台；

所述方法包括下列步骤：

a.提供连接到所述承载台的基准板，所述基准板具有在预定标称位置上的板基准特征；

b.在所述测量站中测量至少一次所述工件的至少一个所述基准特征相对于所述基准板的位置，例如定位和朝向；

c.根据测量基准位置和所述工件的所述基准特征的所述标称位置来计算变换，所述变换描述所述测量位置与所述标称位置的偏差；

d.将具有所述基准板的所述承载台从所述测量站移动到所述写入站；

e.通过针对描述所述测量位置与所述标称位置的所述偏差的所述变换进行调整来将图案写在所述工件上。

2.如权利要求1所述的方法，其中：

所述计算变换的步骤包括：

-根据所述变换计算经调整的图案数据的操作，以及

-使所述经调整的图案数据配合相对于所述基准板的所述位置给出的所述工件的位置；

并且其中：

-所述将所述图案写在所述工件上的步骤通过根据所述经调整的图案数据曝光所述工件来执行。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述用于在所述工件上写的所述经调整的图案数据的计算是根据所述工件的所述基准特征相对于所述基准板的板基准特征的测量位置，且其中所述基准板通过具有到所述承载台的所连接的相对距离而表示所述承载台的坐标系。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其还包括通过使用所述基准板的至少一个所述板基准特征测量所述基准板的所述位置来校准所述写入站的步骤。

5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其还包括通过在所述测量站中测量所述基准板的至少一个所述板基准特征来针对所述基准板校准所述测量站的步骤。

6.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述在所述测量站中测量所述工件的至少一个所述基准特征相对于所述基准板的所述位置的步骤以可选择的频率来执行。

7.如前述权利要求所述的方法，其中所述可选择的频率是下列项的选择：

-在每个工件的对准中；或

-在每第n个工件的对准中，其中n是可选择的整数；或

-响应于来自操作员的控制信号；或

-响应于与预设对准要求的可探测的偏差；或

-根据预定的规则。

8.如权利要求2至7中任一项所述的方法，其中所述经调整的图案数据表示已经分布在所述工件上的多个管芯或管芯组的电路图案，且其中所述计算变换的步骤包括使所述经调整的图案数据配合所述多个管芯或管芯组的操作。

9.如前述权利要求所述的方法，其中使所述经调整的图案数据单独地配合所述多个管芯或管芯组。

10.如权利要求8至9中任一项所述的方法，其中所述多个管芯或管芯组包括分布在所述工件上的所有管芯。

11.如权利要求8至10中任一项所述的方法，其中与所述工件上的所述管芯或管芯组中的至少一个相关的电路图案数据单独地且独立于与所述工件上的其它管芯相关的电路图案数据而被调整。

12.如权利要求8至10中任一项所述的方法，其中与所述工件上的所述管芯或管芯组中的每个相关的电路图案数据单独地且独立于与所述工件上的其它管芯中的任一个相关的电路图案数据而被调整。

13.如权利要求8至12中任一项所述的方法，其中按照定位和朝向来说的所述管芯或管芯组的位置以及相对于所述写入器坐标系的所述工件的定位和朝向用于确定在直接写入机的坐标系中定义的测量位置的变换。

14.如权利要求11至12中任一项所述的方法，其中按照所述工件上的所述管芯相对于基准和/或在相对于所述基准的包括所述工件的空间中所述管芯或管芯组的空间定位和朝向中的至少一个的定位和朝向来确定所述管芯或管芯组的位置。