[发明专利]阳极氧化层的形成方法、模具的制造方法以及防反射膜的制造方法

权利要求书

1.一种阳极氧化层的形成方法，

包含：工序(a)，准备已形成于支撑体的第1主面上的铝膜，在上述支撑体的与上述第1主面相反的一侧的第2主面上设置具有规定图案的低热传导部件；和工序(b)，对上述铝膜的表面进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化层的形成方法，包含：

工序(c)，在上述工序(b)之后使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大；和

工序(d)，在上述工序(c)之后进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部生长。

3.根据权利要求1或2所述的阳极氧化层的形成方法，

上述规定图案表示信息。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的阳极氧化层的形成方法，

上述工序(a)包含：

准备具有基材和已形成于上述基材的表面的无机基底层且上述无机基底层的表面是上述第1主面的上述支撑体的工序；

在上述无机基底层上形成铝层的工序；

在上述铝层的表面形成自然氧化膜的工序；以及

在上述自然氧化膜的表面形成上述铝膜的工序。

5.一种模具的制造方法，

上述模具在表面具有反转后的蛾眼结构，上述模具的制造方法包含通过权利要求1至4中任一项所述的阳极氧化层的形成方法来形成具有从表面的法线方向看时2维大小为10nm以上且小于500nm的多个微细凹部的多孔氧化铝层的工序。

6.一种防反射膜的制造方法，包含：

准备通过权利要求5所述的制造方法制成的模具和被加工物的工序；和

在上述模具和上述被加工物的表面之间附加了紫外线固化树脂的状态下，隔着上述模具对上述紫外线固化树脂照射紫外线，由此使上述紫外线固化树脂固化的工序。