[发明专利]通过校准数据调节静电力来保持空腔深度平行关系的反射式显示器

权利要求书

所有权被申明的发明定义如下：

1.一种带有可动平板的光干涉调光器，它通过驱动可动平板而改变一个空腔的深度并且对非平衡条件进行补偿，这种不平衡可以导致可动平板沿两个正交轴中的至少一个倾斜，其中包括：

(a)一个固定平板位于可动平板的对面，并与可动平板之间构成一个空腔深度，空腔用于调制入射到空腔内的可见光；

(b)多电极与至少一个单电极处于相对的位置，其中多电极或单电极可位于可动平板上；

(c)连接多电极和至少一个单电极的导线，这些导线和一个控制电压源连接，可以将预先定义的电压组施加于多电极中的每个电极上，从而产生静电引力来驱动可动平板以改变空腔深度，并且可以补偿不平衡条件，充分地消除可动平板在关于其所在平面内至少一个正交坐标轴上的倾斜。

2.根据权利要求1所述的干涉调光器，其中多电极包含三个沿两个正交坐标轴中至少一个不对称分布的电极。

3.根据权利要求1所述的干涉调光器，其中多电极包含两个沿与固定平板平行的轴并排排列的电极，还包括另外两个沿着平行于固定平板并和第一轴垂直的另一轴并排的补充电极，但位于和多电极和至少一个电极不同的平面上。

4.根据权利要求1所述的干涉调光器，每个固定板和可移动板均包括一层部分反射层，透射部分入射光并且反射其余的入射光，从而发生光干涉并产生期望颜色的可见光。

5.根据权利要求4所述的干涉调光器，其中部分反射层包含导电材料或者涂有有导电薄膜的绝缘材料。

6.根据权利要求1所述的干涉调光器，至少在可动平板或固定平板上包含一层绝缘层使两板绝缘。

7.根据权利要求6所述的干涉调光器，在多个电极没有被施加电压驱动时，可动平板和固定平板完全接触。

8.根据权利要求1所述的干涉调光器，还包含具有至少一个能支撑可动镜面悬空并为可动平板提供恢复力的弹性梁，此恢复力应与可动平板的刚度匹配，这样当电压从这些电极上去掉后，此弹性梁能够提供足够的弹性恢复力将可动平板恢复到未驱动位置，但此恢复力不能过大以至于在给多电极施加电压来驱动可动平板时造成可动板变形。

9.根据权利要求8所述的干涉调光器，其中至少一个弹性梁结构是一个在可动平板边缘按一定间距连接的弹性梁构成的。

10.根据权利要求8所述的干涉调光器，其中至少一个弹性梁结构包含两个连接在可动板相对边缘上的弹性梁。

11.根据权利要求8所述的干涉调光器，其中至少一个弹性梁结构包含一个连接于可动平板不同边缘处的弹性梁。

12.根据权利要求1所述的干涉调光器，还包括一个底板，使得可动板位于固定板和底板之间，底板也是固定的且包括以下两者之一：

(a)多个电极；或

(b)至少一个电极。

13.根据权利要求1所述的干涉调光器，其中大量的干涉调光器是以行列阵列形式安排在显示器中，还包括连接并传输驱动电极电压的导线，显示器中每个干涉调光器通过这些电压驱动电极在每个显示像素上产生期望的反射颜色，并且补偿可动平板相对于固定平板的倾斜。

14.一种控制干涉调光器可动镜面的方法，以补偿导致可动镜面倾斜而与顶部固定平板不平行的非平衡条件，而可动平板和固定平板之间的距离确定光学腔的深度，其中包括以下步骤：

(a)提供多个分布于干涉调光器表面的第一组电极；

(b)提供至少另一组的电极，其位置在第一组电极的对面；和

(c)给第一组和第二组电极施加电压，给多个电极施加的电压用于提供恰当的静电引力以补偿非平衡条件，并且使可动平板相对于固定平板运动，从而改变干涉调光器的深度和被其反射出的颜色，同时防止可动平板倾斜而破坏和顶部固定平板的平行关系。

15.根据权利要求14所述的方法，其中提供第一组电极的步骤包含划分可动平板的区域以定义第一组电极中每个电极的步骤。

16.根据权利要求14所述的方法，其中提供第一组电极的步骤包含划分顶部固定平板区域以确定第一组电极中每个电极。