[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及在移动体通信设备等中使用的弹性波装置。

背景技术

图8是现有的弹性波装置1的剖面示意图。弹性波装置1具备：压电基板2；配置在压电基板2上的叉指换能器(IDT)电极3；配置在压电基板2上且与IDT电极3连接的布线电极4；配置在压电基板2上且包围IDT电极3的周围的侧壁5；按照覆盖IDT电极3上的空间6的方式设置于侧壁5上的顶板7；覆盖侧壁5和顶板7的绝缘体8；配置在绝缘体8上的电感器电极(inductor electrode)9；覆盖绝缘体8的上表面和电感器电极9的绝缘体10；配置在绝缘体10上的端子电极11；和按照贯通绝缘体8、10的方式设置且将布线电极4、电感器电极9、和端子电极11电连接的连接电极12。

另外，在专利文献1中记载了与弹性波装置1类似的现有的弹性波装置。

通过对绝缘体8的上表面进行研磨来使上表面的高度恒定化，并且使连接电极12的剖面露出，并在其上形成电感器电极9，由此来确保连接电极12和电感器电极9的电连接。

在现有的弹性波装置1中，存在电感器电极9的Q值降低并且其电感产生偏差的情况。

图9是其他现有的弹性波装置101的剖面示意图。弹性波装置101具备：压电基板102；配置在压电基板102上的IDT电极103；配置在压电基板102上且与IDT电极103连接的布线电极104；配置在压电基板102上且包围IDT电极103的周围的侧壁105；按照覆盖IDT电极103上的激励空间106的方式设置于侧壁105上的顶板107；覆盖侧壁105和顶板107的绝缘体108；配置在绝缘体108上的端子电极109；和按照贯通绝缘体108的方式设置且将布线电极104和端子电极109电连接的连接电极110。

在弹性波装置101中，为了插入损耗、频带外衰减量、隔离度(isolation)等特性的提高，有时需要附加具有一定程度的大小的电感值和一定程度的Q值的电感器。很难将这种特性的电感器作为导体图案而形成在压电基板102上。因此，在构成电子设备时，在弹性波装置101的外部需要另一个电感器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009-10121号公报

发明内容

弹性波装置具备：压电基板；设置在压电基板上的IDT电极；设置在压电基板上并与IDT电极连接的布线电极；设置在压电基板上并将IDT电极和布线电极密封的第1绝缘体；设置在第1绝缘体上的树脂层；设置在树脂层上的电感器电极；设置在树脂层上并覆盖电感器电极的第2绝缘体；设置在第2绝缘体上的端子电极；以及贯通第1绝缘体、第2绝缘体和树脂层，并将布线电极、端子电极和电感器电极电连接的连接电极。第1绝缘体具有树脂和分散在树脂中的填料。树脂层中的填料的密度，比第1绝缘体的填料的平均密度小。

该弹性波装置能够确保电感器的电气特性并且降低其偏差。

附图说明

图1A是本发明的实施方式1中的弹性波装置的剖面示意图。

图1B是图1A所示的弹性波装置的主要部分俯视图。

图2A是表示实施方式1中的弹性波装置的电感器电极的电感的变化率的图。

图2B是表示实施方式1中的弹性波装置的电感器电极的电感的变化率的图。

图3A是本发明的实施方式2中的弹性波装置的剖面示意图。

图3B是图3A所示的弹性波装置的主要部分俯视图。

图4是本发明的实施方式3中的弹性波装置的电路图。

图5是实施方式3中的弹性波装置的示意剖面图。

图6是实施方式3中的弹性波装置的俯视图。

图7A是实施方式3中的弹性波装置的主要部分俯视图。

图7B是实施方式3中的弹性波装置的主要部分俯视图。

图8是现有的弹性波装置的剖面示意图。

图9是其他现有的弹性波装置的剖面示意图。

具体实施方式

(实施方式1)