[发明专利]局部洁净区形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及在作业领域中形成清洁空气空间的局部洁净区形成装置。

背景技术

近年来，在IC芯片的制造等半导体制造、平板显示器等的液晶部件制造、手机、数码相机等光学部件制造等为首的高功能化的精密机器的制造现场，或者化学、医药品等处理制造、检查、研究等现场中，由于尘埃、环境微生物等的混入会对制品的品质、研究结果产生很大影响，因此，对这些现场的作业空间的净化的要求在扩大。

对于这样的要求，一般是仅对必须进行净化的一部分的作业空间进行局部性净化的方式，作为这样的代表性的洁净区形成技术，净化工作台方式是代表性的。该净化工作台方式，只在作业台的近前面设置作业用的开口部，其他的面，为了保持清洁度，包括天井在内的围挡将周围包围起来。结构为：在该围挡内设置清洁空气吹出口，作业人员从近前的作业用开口部将手伸进去进行操作。还提出了在具有这样的基本结构的基础上赋予各种功能的净化工作台。作为提出这些净化工作台的公开刊物例子，有JP2001-141273A、JP2005-48970A及JP2006-162174A。

以往所知的净化工作台的作业用开口部多较为狭小，精密机械等的装配作业困难，在作业性方面有难点。此外，在装配作业等中，在由传输带等搬送制品、部件的同时进行制造的生产线中，净化工作台方式中必不可少的围挡就成为了障碍，因而无法将其纳入到生产线中。

这种情况下，虽能采用将包括生产线在内的全部作业房屋进行净化的洁净室方式，但这样的方式中，因设备的规模大、装置大型化而导致的设置空间的确保、装置自身费用、施工费用等都高额化，这成为难点。而且，用于维持宽大空间的高清洁度的电费、交换过滤器的维持费等运行成本也非常巨大。

作为除此之外的不污染制造部件等来进行制造的方法，有将制造部件等用隔壁围挡，通过与作业人员隔离而在隔壁内进行部分的污染控制的无尘车间方式等，能够制作高洁净区，其反面，难点在于需要将制造部件等与作业人员完全隔离，作业人员不能直接进行作业。

本发明人等先前提出了局部空气清洁化装置(JP2008-275266A)，不对作业性优良的作业对象进行限制，作为可提供优良的洁净区的局部空气清洁化装置，将一对吹风罩(プツシユフ一ドpush hood)相互正对来配置来使得二股空气流相冲突。

该装置中，在与一对正对的吹风罩的空气吹出面之间所形成的气流方向相平行的边界面全部处于开放状态，不使用隔壁、围挡等而形成清洁空气空间，由于没有围挡等成为作业的障碍，因而作业性优良。此外，还具有如下特征，即由于没有围挡，在伴随部件搬送的生产线中也可以使用。但是，这种装置中会有这样的难点：由于需要将吹出开口面正对，在伴随部件搬送的生产线等中，有时会有作业人员自身不能进入形成的气流中而难以进行作业的情况，这种情况下，会有作业人员阻挡吹风罩的空气吹出面的状况，从而不能形成洁净区。此外的问题是，在装置的设置区域中如果存在柱子、制造设备等移动困难的障碍物的场所或者在狭窄的作业房屋等中不能将吹出开口面设置成正对的位置，即使能设置，也要占用不必要的空间。

发明内容

发明的目的

本发明的目的是在活用先前提出的局部空气清洁化装置的优点的基础上，提供新的局部洁净区形成装置，该装置提高了应用可能性及实用性，而且作业性优良，对于作业对象没有限制，将装置的设置空间控制为节省空间，能够在廉价、容易地实现优良的洁净区。

发明的概要

本发明的第1发明是局部洁净区形成装置，具有如下的结构：将用于形成等速空气流的整流机构内设在空气吹出面内而形成的一对吹风罩配置为：相互的该空气吹出面之间平行且该空气吹出面的中心之间不是正对关系，以使由该吹风罩吹出的等速空气流之间相对而冲突，同时，将该等速空气流在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而吹出。

本发明的第2发明是根据上述第1发明中所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构由至少一个蜂窝形并列多孔体和至少一个空气阻挡体构成，该蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而排列。

本发明的第3发明是根据上述第2发明中所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构的蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的水平斜向上以角度而排列。