[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及声表面波(SAW：Surface Acoustic Wave)装置等的弹性波装置。

背景技术

以往，公知一种具有在SAW的传播方向上排列有多个IDT电极的纵向耦合多重模式SAW滤波器的SAW装置(例如，专利文献1)。在专利文献1中，为了提高相对于静电放电(ESD：Electro Static Discharge)的耐性，将各IDT电极设为所谓的串联分割型的IDT电极。即、在专利文献1的各IDT电极中，在第1梳齿状电极与第2梳齿状电极之间以电气方式配置了浮置状态的第3梳齿状电极，其中所述第1梳齿状电极配置于与SAW的传播方向正交的方向的一侧且与信号线连接，所述第2梳齿状电极配置于所述正交的方向的另一侧且与地线连接。

可是，如专利文献1所述那样，若将IDT电极设为串联分割型，则在与传播方向正交的方向上SAW装置会变得大型化。

因此，期望提供一种不会变得大型化、且能提高ESD耐性的弹性波装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-311180号公报

发明内容

作为本发明的一个方式的弹性波装置，具有：

基板；

第1IDT电极，其具有：与信号线连接、在所述基板传播的弹性波的传播方向上延伸的第1信号连接母线；与地线连接、位于与所述第1信号连接母线对置的位置处的第1接地母线；和从所述第1信号连接母线及所述第1接地母线向它们的对置方向延伸的多个第1电极指，并且所述第1IDT电极位于所述基板的主面；

第2IDT电极，其具有：与信号线连接、沿着所述第1接地母线的长边方向位于该第1接地母线的旁边的第2信号连接母线；位于与所述第2信号连接母线对置的位置、且沿着所述第1信号连接母线的长边方向位于该第1信号连接母线的旁边的、与地线连接的第2接地母线；和从所述第2信号连接母线及所述第2接地母线向它们的对置方向延伸的多个第2电极指，并且所述第2IDT电极位于所述基板的主面；和

浮置部件，其位于所述第1接地母线与所述第2信号连接母线之间、以及所述第1信号连接母线与所述第2接地母线之间的至少一个之间，与所述第1接地母线、所述第2信号连接母线、所述第1信号连接母线及所述第2接地母线的任何母线都不连接，位于所述基板的主面。

通过具有上述构成的弹性波装置，通过设置与第1接地母线、第2信号连接母线、第1信号连接母线及第2接地母线的任何母线都不连接的浮置部件，从而能够在不使整体构造大型化的情况下提高ESD耐性。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图2是表示第1比较例涉及的SAW装置的俯视图。

图3是表示本发明的第2实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图4是表示本发明的第3实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图5是表示本发明的第4实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图6是表示本发明的第5实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图7是表示本发明的第6实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图8是表示本发明的第7实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图9是表示本发明的第8实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图10是表示本发明的第9实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图11是表示本发明的第10实施方式涉及的SAW装置的构成的俯视图。

图12(a)是表示浮置部件的第1变形例的俯视图，图12(b)是表示浮置部件的第2变形例的俯视图。

图13是表示第2比较例涉及的SAW装置的俯视图。

图14(a)是比较例1中的击穿时的电压值的直方图，图14(b)是实施例1中的击穿时的电压值的直方图。

图15是表示实施例2及比较例2的透过特性的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式涉及的SAW装置进行说明。此外，以下说明中所用到的图仅是示意图，附图上的尺寸比例等与实际中的尺寸比例未必一致。

另外，在作为说明对象的比较例及实施方式中，对于与已经说明过的比较例或实施方式的构成相同或相类似的构成，赋予与已经说明过的比较例或实施方式的构成相同的符号，并省略其说明。