[发明专利]负型感光性树脂组合物、图案形成方法和液体排出头

说明书

技术领域

本发明涉及负型感光性树脂组合物。更具体地，本发明涉及可用于液体排出头的生产的负型感光性树脂组合物，所述液体排出头在用于产生液滴如墨滴的液体排出记录方法中使用。另外，本发明涉及使用所述负型感光性树脂组合物的图案形成方法、液体排出头、和液体排出头生产方法。

背景技术

作为微细加工技术，已知通过进行负型感光性树脂组合物的曝光和显影而形成图案或结构体的光刻技术。所述技术已经广泛用于生产半导体集成电路、半导体曝光用掩模和各种微电子机械系统(MEMS)等。作为用于MEMS生产的应用实例，将该技术用于液体排出头喷嘴的生产。在该技术的领域中，近年来已经要求生产具有更复杂的和高精细构造以及高耐热性的结构体，因此，已经要求显示高耐热性和成型(molding)精度的负型感光性树脂组合物。

作为负型感光性树脂组合物的实例，日本专利申请特开2008-256980讨论了包含多官能环氧树脂和光酸产生剂的负型感光性树脂组合物。

作为液体排出头的实例，美国专利5,218,376讨论了包括液体排出装置用喷嘴的构造，其中墨滴通过设置通过加热加热电阻元件(heating resistance element)而产生的气泡与外部空气之间的连通而排出。

然而，在高温下加热以赋予高的可靠性的情况下，有时已经将一部分固化膜改性从而使得不可能获得期望的固化膜。

发明内容

本发明涉及具有高耐热性和成型精度的负型感光性树脂组合物。另外，本发明涉及具有排出口构件的液体排出头，所述排出口构件设置有由所述组合物形成的排出口并且具有高精细形状。

根据本发明的方面，提供一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；具有阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂；和具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐，其中将所述盐的阴离子部分与源自光酸产生剂的阴离子部分的第一酸中的阴离子部分交换，从而形成具有比第一酸的酸强度更低的酸强度的第二酸。

根据本发明的示例性实施方案，提供具有高耐热性并且能够形成具有良好的成型精度的固化物的负型感光性树脂组合物。另外，可以提供具有设置有高精细形状排出口的排出口构件的液体排出头。

参考附图本发明的进一步特征和方面将由以下示例性实施方案的详细描述变得显而易见。

附图说明

引入并构成说明书的一部分的附图说明本发明的示例性实施方案、特征和方面并且，与说明书一起，用于解释本发明的原理。

[图1]图1是示意性说明要用于评价根据本发明的示例性实施方案的成型精度的图案的图。

[图2]图2是示意性说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的透视图。

[图3]图3是示意性说明要用于根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的基板的透视图。

[图4A]图4A是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

[图4B]图4B是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

[图4C]图4C是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

[图4D]图4D是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

[图4E]图4E是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

[图4F]图4F是说明根据本发明的示例性实施方案的液体排出头的制造方法的工艺步骤的截面图。

具体实施方式

参考附图以下将详细描述本发明的各种示例性实施方案、特征和方面。

根据本发明的示例性实施方案的负型感光性树脂组合物包含：

(a)阳离子可聚合化合物；(b)至少一种光酸产生剂；和(c)盐交换剂，

其中所述盐交换剂是具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐。

下文中，将详细描述根据本发明的示例性实施方案的负型感光性树脂组合物的组分。

<(a)阳离子可聚合化合物>

阳离子可聚合化合物的实例包括，但不限于，具有选自由环氧基、氧杂环丁烷基、乙烯基醚基和丙烯基醚基组成的组的一个或者两个以上反应性官能团的化合物。