[发明专利]感光性树脂组合物、结构体的生产方法和液体排出头

说明书

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、结构体的生产方法和液体排出头。

背景技术

已知的微细加工技术包括光刻技术，所述光刻技术包含将负型感光性树脂进行曝光和显影从而形成图案化结构体，该技术广泛用于诸如半导体集成电路生产用途、半导体曝光用掩模生产用途和各种微机电系统(MEMS)的生产用途的应用中。在MEMS生产用途的一个实例中，将该技术用于液体排出头喷嘴的生产。具有i线光源的步进器(stepper)广泛地用作曝光装置，在该技术领域中，近年来已经要求更复杂和高精细形状的结构体的生产，因此，已经要求对来自光源的光显示高感光性和高成型精度的负型感光性树脂。

作为该负型感光性树脂的实例，日本专利申请特开2008-256980讨论了包含多官能环氧树脂和阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物。

美国专利6,155,673讨论了具有喷嘴的液体排出装置的结构的实例，所述结构中使得通过加热发热电阻器而产生的气泡与外部空气连通从而可以排出墨滴。

然而，上述组合物由于以下原因在一些情况下不具有令人满意的性能。例如，当使用该负型感光性树脂组合物和i线光源形成复杂的结构如液体排出装置用锥形排出口时，会形成不期望的形状如部分圆形的边缘(partially-rounded edge)。

发明内容

本发明涉及一种感光性树脂组合物，用所述感光性树脂组合物使用i线光刻法能够形成具有高感光度和高成型精度的结构体。

根据本发明的方面，提供一种感光性树脂组合物，其包括：(a)在酸的存在下可聚合的化合物；和(b)包括具有由下式(b1)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎓盐的光酸产生剂，其中组分(b)吸收由感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的50%以上，

[化学式1]

其中R₁至R₃各自独立地表示1-30个碳原子的有机基团；R₁至R₃表示包含至少两个氧原子和包括选自噻吨酮骨架、9,10-二烷氧基蒽骨架或蒽醌骨架的至少一个有机基团的结构；X选自碳原子、氮原子、磷原子、硼原子和锑原子；Y为选自-S(=O)₂-、-CF₂-O-、-CF₂-C(=O)-、-CF₂-C(=O)-O-和-CF₂-O-C(=O)-的至少一个，或者X和R₄彼此直接键合；R₄表示1-30个碳原子的烃基，条件是当Y表示-S(=O)₂-或单键时，由R₄表示的烃基具有至少一个氟原子；和当X表示碳原子时，m和n表示满足m+n=3和n=0-2的整数，当X表示氮原子时，m和n表示满足m+n=2和n=0-1的整数，当X表示磷或锑原子时，m和n表示满足m+n=6和n=0-6的整数，或者当X表示硼原子时，m和n表示满足m+n=4和n=0-3的整数。

根据本发明的示例性实施方案，提供感光性树脂组合物，用所述感光性树脂组合物使用i线光刻法能够形成具有高感光度和高成型精度的结构体。

参考附图从以下示例性实施方案的详细描述，本发明的进一步特征和方面将变得显而易见。

附图说明

引入并构成说明书一部分的附图说明本发明的示例性实施方案、特征和方面，并且，与说明书一起用于解释本发明的原理。

[图1]图1是示出用于形成本发明的示例性实施方案中的模型图案的掩模的图。

[图2]图2是示出根据本发明的示例性实施方案的喷墨记录头的结构实例的图。

[图3]图3是示出具有以预定的间距配置在示于图2的基板上的多个能量产生元件的结构的图。

[图4A]图4A是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。

[图4B]图4B是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。

[图4C]图4C是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。

[图4D]图4D是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。

[图4E]图4E是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。

[图4F]图4F是示出根据本发明示例性实施方案的液体排出头的制造方法的截面图。