[发明专利]石英多孔质体的制造方法、光纤母材的制造方法、石英多孔质体及光纤母材

权利要求书

1.石英多孔质体的制造方法，包括：

在光纤用芯棒的周围配置多个喷灯的工序和

用所述多个喷灯在所述光纤用芯棒的外周面上沉积多个疏松层的沉积工序，

其特征在于，在所述沉积工序中，所述多个疏松层分别用所述多个喷灯中的1个形成，并且沉积所述各疏松层，并使得平均体积密度为x（g/cm³）、沉积厚度为y（mm）时满足0.2≤x≤0.5及0.1≤y≤4.0x²－3.8x＋1.3，所述多个疏松层的体积密度最大值在0.6g/cm³以下。

2.根据权利要求1所述的石英多孔质体的制造方法，其特征在于，沉积所述各疏松层，并使其满足0.2≤x≤0.5及0.1≤y≤0.4。

3.根据权利要求1所述的石英多孔质体的制造方法，其特征在于，用VAD法制作所述光纤用芯棒。

4.光纤母材的制造方法，其特征在于，将用权利要求1或3所述的制造方法制得的石英多孔质体在含氟气体中脱水和烧结。

5.石英多孔质体，具有多个沉积在光纤用芯棒外周面上的疏松层，其特征在于，

所述多个疏松层的体积密度最大值在0.6g/cm³以下，

所述各疏松层在平均体积密度为x（g/cm³）、沉积厚度为y（mm）时满足0.2≤x≤0.5及0.1≤y≤4.0x²－3.8x＋1.3。

6.根据权利要求5所述的石英多孔质体，其特征在于，所述各疏松层满足0.2≤x≤0.5及0.1≤y≤0.4。

7.光纤母材，其特征在于，通过权利要求5所述的石英多孔质体在含氟气体中脱水和烧结而成。