[发明专利]用于制造压电多层器件的方法和压电多层器件

权利要求书

1.一种用于制造压电多层器件的方法，包括以下步骤：

A)提供包含压电材料的压电未烧结膜，

B)提供包含Pd的电极材料，

C)交替地设置未烧结膜和由电极材料制成的层以形成堆叠（1），

D)对该堆叠（1）进行烧结，

其中在方法步骤C)中为至少一个由电极材料制成的层配备包含PbO的涂层，和/或在方法步骤B)中向电极材料掺合PbO。

2.根据权利要求1的方法，

其中方法步骤D)包括子步骤

D1)在高达400℃的温度时烧结，

D2)在位于400℃至700℃的范围内的温度时烧结，

D3)在超过700℃的温度时烧结，

其中在子步骤D2)中在电极材料和压电材料之间形成包含PbPdO₂的中间相。

3.根据权利要求2的方法，其中所述PbPdO₂由包含在电极材料中的Pd和包含在涂层和/或电极材料中的PbO形成。

4.根据权利要求2或3之一的方法，其中所述PbPdO₂具有比PbO以及比压电材料更大的体积。

5.根据权利要求2至4之一的方法，其中在电极材料和压电材料之间能够形成微裂缝。

6.根据权利要求2至5之一的方法，其中所述PbPdO₂在子步骤D3)中至少部分地分解为Pd和PbO。

7.根据上述权利要求之一的方法，其中在方法步骤C)中借助丝网印刷将所述涂层施加到电极材料上。

8.根据上述权利要求之一的方法，该方法具有在方法步骤D)之后的方法步骤E)，在方法步骤E)中对经过烧结的堆叠形成极性。

9.根据权利要求8的方法，其中在方法步骤E)中能够形成极性裂缝（25）。

10.根据权利要求9的方法，其中所述极性裂缝由微裂缝形成。

11.一种压电多层器件，具有由经过烧结的压电层（10）和设置在压电层之间的内电极（20）组成的堆叠（1），其中在至少一个内电极的表面上存在具有极性裂缝（25）的区域。

12.根据权利要求11的多层器件，其中极性裂缝（25）基本上没有分叉。

13.根据权利要求11或12之一的多层器件，其中内电极（20）包括Pd。

14.根据权利要求11至13之一的多层器件，其中压电层（10）包括锆钛酸铅。