[发明专利]光电转换装置及其制造方法

权利要求书

1.一种光电转换装置，

包括层叠体，所述层叠体通过层叠基板、设置于该基板上且相互空开间隙配置的一对电极、设置于所述间隙内及所述一对电极上的光电转换层而成，

所述一对电极的各个电极具有被沿着所述间隙交替配置的、沿所述间隙的直线状部及从该直线状部朝向所述间隙突出且前端面为曲面状的第一突出部。

2.根据权利要求1所述的光电转换装置，其中，

所述第一突出部沿着所述间隙以恒定的间隔形成多个。

3.根据权利要求1或2所述的光电转换装置，其中，

所述一对电极的各自的所述第一突出部相互对置。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的光电转换装置，其中，

所述一对电极的各个电极在相互对置的端部具有沿着所述间隙的配置方向连续且向所述层叠体的层叠方向突出的第二突出部。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的光电转换装置，其中，

所述第一突出部的突出长度a与所述前端面的曲率b的关系为a/b＝0.33～1。

6.根据权利要求1～5的任一项所述的光电转换装置，其中，

所述第一突出部的宽度c与所述直线状部的长度d的关系为c/d＝0.23～0.8。

7.根据权利要求1～6的任一项所述的光电转换装置，其中，

所述间隙的宽度e与所述第一突出部的突出长度a的关系为e/a＝15～50。

8.根据权利要求1～7的任一项所述的光电转换装置，其中，

所述间隙的宽度e与所述直线状部的长度d的关系为e/d＝1.4～5。

9.根据权利要求4所述的光电转换装置，其中，

所述第二突出部的突出长度f与所述电极的厚度g的关系为f/g＝0.3～3.5。

10.一种光电转换装置的制造方法，包括：

在基板上形成电极层的工序；用激光将所述电极层分割而空开间隙形成一对电极的激光分割工序；在所述间隙内及一对电极上形成光电转换层的工序，

在所述激光分割工序中，将具有大致矩形状的光斑的激光以使所述光斑的一部分相互重叠的方式一边移动一边反复照射所述电极层。

11.根据权利要求10所述的光电转换装置的制造方法，其中，

所述激光具有平顶型的能量分布。

12.根据权利要求10或11所述的光电转换装置的制造方法，其中，

所述光斑的一部分相互重叠的重叠率为5～15％。

13.根据权利要求10～12的任一项所述的光电转换装置的制造方法，其中，

在形成所述光电转换层的工序中，在所述间隙内及所述一对电极上涂敷含有黄铜矿系的光电转换层的原料的膏剂而形成成为所述光电转换层的皮膜，然后对该皮膜进行热处理。