[发明专利]一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统

权利要求书

1.一种集成探测器，其特征在于，所述集成探测器包括：检测单元和数据恢复单元，其中，

所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；

所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。

2.根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述集成探测器还包括：电隔离层，用于将所述检测单元的电信号与所述数据恢复单元的电信号进行隔离。

3.根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相反，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层，或所述检测单元接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相同，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层。

4.根据权利要求1所述的集成探测器，其特征在于，所述集成探测器还包括：衬底，所述检测单元和所述数据恢复单元都集成在所述衬底上，且所述衬底为半绝缘磷化铟材料。

5.根据权利要求4所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元包括：第一台面、第一金属电极层、第一子n极层以及第一反射面，其中，

所述第一台面是在所述衬底上依次沉积n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料；

所述第一金属电极层是在所述第一台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的；

所述第一子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的；

所述第一反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的；

所述数据恢复单元包括：第二台面、第二金属电极层、第二子n极层以及第二反射面，其中，

所述第二台面是在所述衬底上依次沉积所述n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀所述P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料；

所述第二金属电极层是在所述第二台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的；

所述第二子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的；

所述第二反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的。

6.根据权利要求4所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元还包括：第一入光斜面，所述第一入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的，所述第一光信号由所述第一入光斜面射入所述第一子n极层；

所述数据恢复单元还包括：第二入光斜面，所述第二入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的，所述第二光信号由所述第二入光斜面射入所述第二子n极层。

7.一种集成探测器的探测方法，其特征在于，所述方法包括：

接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；

接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。

8.一种光模块，包括：激光器、滤波器和第一光波导，所述激光器通过所述第一光波导与所述滤波器连接，其特征在于，所述光模块还包括：集成探测器和第二光波导，所述集成探测器通过所述第二光波导与所述激光器连接；其中，

所述激光器，用于产生第一光信号，通过所述第一光波导将所述第一光信号发送给所述集成探测器；

所述滤波器，用于接收光线路终端发送的第二光信号，将所述第二光信号发送给所述集成探测器；

所述集成探测器，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；以及接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。