[发明专利]校准方法和平板显示器的制造方法

说明书

技术领域

在此公开的技术涉及平版印刷技术中的被曝光基板和光掩模的校准 方法以及通过平版印刷技术进行图案形成的平板显示器的制造方法。

背景技术

以等离子显示面板(以下，称为PDP)为代表的平板显示器(以下， 称为FPD)具有在面板面内图案形成的电极等的结构。在图案形成中使 用平版印刷技术。即，已知如下方法：对形成在基板上的材料，经由光掩 模进行曝光之后使其显影，从而设为规定的图案。随着FPD的大画面化， 难以形成对应于大画面的大型光掩模。因此，公开了将FPD面内的应曝 光的区域分割为多个区域的曝光方法(例如，参照日本专利文献1)。

专利文献1：日本特开2007-179777号公报

发明内容

一种将基板与光掩模之间的距离设定为规定的曝光间隙的校准方法。 光掩模为矩形，且包括第一边和与第一边对置的第二边。使第一边的中点 与基板之间的距离对准曝光间隙。以连接第一边的中点和第二边的中点的 线为轴使光掩模旋转，从而使第一边的两端的每一个与基板之间的距离对 准所述曝光间隙。以第一边为轴使光掩模旋转，从而使第二边的中点与基 板之间的距离对准曝光间隙。

一种平板显示器的制造方法，所述平板显示器使用隔着曝光间隙而配 置的多个光掩模，对形成在基板上的感光性膜进行分割曝光。多个光掩模 至少包括第一光掩模和第二光掩模。第一光掩模为矩形，且包括第一边和 与第一边对置的第二边。第二光掩模为矩形，且包括第三边和与第三边对 置的第四边。在被分割曝光的边界部，使第一边的中点与基板之间的距离 对准曝光间隙。以连接第一边的中点和第二边的中点的线为轴使第一光掩 模旋转，从而使第一边的两端的每一个与基板之间的距离对准曝光间隙。 以第一边为轴使第一光掩模旋转，从而使第二边的中点与基板之间的距离 对准曝光间隙。在被分割曝光的边界部，使第三边的中点与基板之间的距 离对准曝光间隙。以连接第三边的中点和第四边的中点的线为轴使第二光 掩模旋转，从而使第三边的两端的每一个与基板之间的距离对准曝光间 隙。以第三边为轴使第二光掩模旋转，从而使第四边的中点与基板的距离 对准曝光间隙。

附图说明

图1是表示PDP的主要部分的立体图。

图2是表示在本实施方式中的分割曝光中曝光基板的左区域的状态 的图。

图3是图2中的3-3剖视图。

图4是表示在本实施方式中的分割曝光中曝光基板的右区域的状态 的图。

图5是图4中的5-5剖视图。

图6是表示分割曝光中的光掩模和基板的校准的主视图。

图7是表示分割曝光中的光掩模和基板的校准的侧视图。

图8是表示本实施方式的光掩模的校准方法的图。

图9是表示本实施方式的光掩模的校准方法的图。

具体实施方式

以PDP的制造方法为例进行说明。

【1.PDP1的结构】

PDP的基本结构是一般的交流面放电型PDP。如图1所示，在PDP1 中，对置配置了由前面玻璃基板3等构成的前面板2和由背面玻璃基板 11等构成的背面板10。前面板2和背面板10通过周边由玻璃粉(glass frit) 等构成的封装部件密封。在密封的PDP1内部的放电空间16内，以53kPa (400Torr)～80kPa(600Torr)的压力装入氖(Ne)和氙(Xe)等放电 气体。

扫描电极4和维持电极5分别在由铟锡金属氧化(ITO)、氧化锡 (SnO₂)、氧化铅(ZnO)等导电性金属氧化物构成的透明电极上层叠了 由Ag构成的总线电极。

在背面玻璃基板11上，与显示电极6正交的方向上，相互平行地配 置由以银(Ag)为主成分的导电性材料构成的多个数据电极12。数据电 极12被衬底电介质层13所覆盖。此外，在数据电极12之间的衬底电介 质层13上，形成有划分放电空间16的规定高度的隔壁14。在隔壁14之 间的沟中，按每个数据电极12，依次涂敷而形成通过紫外线而发出红色 的荧光体层15、发出绿色的荧光体层15以及发出蓝色的荧光体层15。在 显示电极6和数据电极12交叉的位置上形成有放电单元。沿着显示电极 6的方向排列的具有红色、绿色、蓝色的荧光体层15的放电单元成为用 于彩色显示的像素。