[发明专利]曝光装置用照光装置及其亮灯控制方法、以及曝光装置、曝光方法及基板

权利要求书

1.一种曝光装置用照光装置，其特征在于，其具有：

多个光源部，它们分别包括发光部和反射光学系统，该反射光学系统使从该发光部产生的光具有指向性并且射出；

可用于分别安装规定数量的所述光源部的多个灯盒；

可用于安装所述多个灯盒的支撑体。

2.根据权利要求1所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述灯盒具有支撑所述规定数量的光源部的光源支撑部，

所述光源支撑部被形成为：使从所述规定数量的光源部的光所照射的各照射面到所述规定数量的光源部的光所入射到的积分透镜的入射面为止的、各光轴的距离大致固定。

3.根据权利要求2所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述支撑体具有用于分别安装所述多个灯盒的多个灯盒安装部，

所述多个灯盒安装部被形成为：使从所述所有的光源部的光所照射的各照射面到所述所有的光源部的光所入射到的积分透镜的入射面为止的、各光轴的距离大致固定。

4.根据权利要求3所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述多个灯盒安装部分别具有：所述灯盒的光源支撑部所面对的开口部；以及与被形成在该光源支撑部的周围的平面部抵靠的平面，

在规定的方向上排列的所述多个灯盒安装部的各平面以规定的角度交叉。

5.根据权利要求4所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述支撑体的灯盒安装部被形成在以所述平面为底面的凹部处，

所述灯盒被嵌合在所述灯盒安装部的凹部处。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述灯盒具有支撑所述规定数量的光源部的光源支撑部，

在四边连接被支撑于所述光源支撑部且位于最外周的所述光源部的中心的线形成长方形形状。

7.根据权利要求6所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述支撑体具有用于分别安装所述多个灯盒的多个灯盒安装部，

使被配置在相互垂直的方向上的所述灯盒的各数量一致，所述多个灯盒安装部被形成为长方形形状。

8.根据权利要求2至7中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述灯盒具有罩部件，该罩部件以包围被支撑在所述光源支撑部上的所述规定数量的光源部的状态安装在所述光源支撑部，

在所述光源支撑部和所述罩部件之间的收纳空间内，相邻的所述光源部的反射光学系统的背面直接相对。

9.根据权利要求8所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

在所述罩部件上，形成连通所述收纳空间和该罩部件的外部的连通孔和连通槽中的至少一个。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

在所述支撑体上设置有冷却用配管，该冷却用配管用于冷却所述各光源部且让冷却水进行循环。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

该曝光装置用照光装置具有强制排气单元，该强制排气单元相对于所述各光源部的光所照射的各照射面从后方和旁边中的至少一方强制性地对所述支撑体内的空气进行排气。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

该曝光装置用照光装置还具有对所述多个光源部的亮灯或熄灯进行控制的控制部，

所述控制部进行控制，使得所述各灯盒内的所述规定数量的光源部以大致旋转对称的方式进行亮灯。

13.根据权利要求1至11中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

该曝光装置用照光装置还具有对所述多个光源部的亮灯或熄灯进行控制的控制部，

所述控制部进行控制，使得所述各灯盒内的所述规定数量的光源部中成为大致旋转对称关系的位置的所述光源部交替地进行亮灯。

14.根据权利要求1至13中的任一项所述的曝光装置用照光装置，其特征在于，

所述规定数量的光源部由分光特性不同的多种光源部构成。