[实用新型]固定式掩模机构有效
申请号: | 201120576252.0 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202415677U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固定 式掩模 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及薄膜镀膜技术领域,特别涉及一种固定式掩模机构。
背景技术
在薄膜镀膜领域,目前常用的掩模方式是根据所需薄膜的表面图案或结构形式,在镀膜室内设置掩模架,根据所需图案将掩模丝缠绕固定于掩模架上,薄膜在镀膜室内进行镀膜时,由于掩模丝的阻挡,使其表面形成所需的图案。该方法原理简单,但存在以下缺陷:由于掩模丝固定不动,经过长时间镀膜后,在掩模丝表面会沉积大量的镀膜材料,需要定时对其进行清洗,而清洗时必须进入镀膜室内将掩模架拆卸下来,才能卸下掩模丝,其操作繁琐,使用较为不便,影响镀膜生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种结构简单、掩模丝拆卸方便的固定式掩模机构。
本实用新型的技术方案为:一种固定式掩模机构,包括掩模架、收丝盘和放丝盘,掩模架为四边形结构,掩模架相对的两侧边上设有多个缠绕辊,多个缠绕辊两侧分别设置收丝盘和放丝盘,掩模丝从放丝盘放出后,经过多个缠绕辊缠绕固定,掩模丝的末端缠绕于收丝盘上。
所述多个缠绕辊设于掩模架的左右两侧边上,收丝盘和放丝盘分别设于掩模架右侧边的两端上。
所述多个缠绕辊分布于薄膜上方,薄膜穿过掩模架中部。
所述掩模架通过设于其前后两侧的固定架设于镀膜室内。
本固定式掩模机构使用时,其原理是:多个缠绕辊根据薄膜表面所需的图案在掩模架左右两侧边上进行分布,放丝盘放出掩模丝后,掩模丝缠绕于各缠绕辊上,掩模丝末端固定于收丝盘上,在薄膜镀膜过程中,掩模丝固定于各缠绕辊上,当需要对掩模丝进行清洗时,调节收丝盘和放丝盘,将需要清洗的掩模丝通过收丝盘回收,放丝盘放出新的掩模丝缠绕于各缠绕辊上,当放丝盘上整卷的掩模丝使用完后再对其进行拆卸清洗。
本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:
本固定式掩模机构通过在传统的掩模机构上增加放丝盘和收丝盘,实现掩模丝的整卷使用、清洗和更换,可减少掩模机构拆卸的频率,有效提高薄膜的镀膜效率。除此之外,本固定式掩模机构结构简单、维护方便,通过间歇式转动可有效杜绝膜层残留物在掩模机构上的沉积。
附图说明
图1为本固定式掩模机构的结构示意图。
图2为图1的A-A视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种固定式掩模机构,其结构如图1或图2所示,包括掩模架1、收丝盘2和放丝盘3,掩模架1为四边形结构,掩模架1相对的两侧边上设有多个缠绕辊4,多个缠绕辊4两侧分别设置收丝盘2和放丝盘3,掩模丝5从放丝盘3放出后,经过多个缠绕辊4缠绕固定,掩模丝5的末端缠绕于收丝盘2上。
如图2所示,多个缠绕辊4设于掩模架1的左右两侧边上,收丝盘2和放丝盘3分别设于掩模架右侧边的两端上。
多个缠绕辊4分布于薄膜6上方,薄膜6穿过掩模架1中部。
掩模架1通过设于其前后两侧的固定架7设于镀膜室8内。
本固定式掩模机构使用时,其原理是:多个缠绕辊4根据薄膜表面所需的图案在掩模架1左右两侧边上进行分布,放丝盘3放出掩模丝5后,掩模丝5缠绕于各缠绕辊4上,掩模丝5末端固定于收丝盘2上,在薄膜6的镀膜过程中,掩模丝5固定于各缠绕辊4上,当需要对掩模丝5进行清洗时,调节收丝盘2和放丝盘3,将需要清洗的掩模丝通过收丝盘2回收,放丝盘3放出新的掩模丝缠绕于各缠绕辊上,当放丝盘上整卷的掩模丝使用完后再对其进行拆卸清洗。
如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
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