[实用新型]一种反应腔室喷淋系统有效
申请号: | 201120574883.9 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202440548U | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 崔军;彭侃 | 申请(专利权)人: | 汉能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
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地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反应 喷淋 系统 | ||
1.一种反应腔室喷淋系统,其特征在于在反应腔室腔盖上固定有一套可使喷淋装置上下移动的机构,进水管路和气体管路通过该机构与喷淋装置连通。
2.根据权利要求1所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述可使喷淋装置上下移动的机构包括固定在反应腔室腔盖上的支架、与喷淋装置固定连接的导向筒以及调节导向筒上下移动的装置。
3.根据权利要求2所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述调节导向筒上下移动的装置包括设于支架上部的手轮和由手轮带动旋转的丝杆,丝杆与导向筒上梁通过旋合螺母旋合连接。
4.根据权利要求2或3所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述反应腔室腔盖上还固定有对导向筒进行定位和导向的导向套。
5.根据权利要求4所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述导向套与导向筒之间为密封间隙配合。
6.根据权利要求5所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述密封间隙配合是在导向套上设置密封槽,导向套与导向筒之间设有安装在密封槽内的密封圈。
7.根据权利要求2所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述支架侧板的内壁上设有凹槽,导向筒上装有与凹槽配合的导向固定块。
8.根据权利要求7所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述支架侧板的外壁上设有自锁手柄,穿过支架侧板与导向固定块连接。
9.根据权利要求2所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述导向筒与喷淋装置上部的分气盒连接,分气盒顶部设有水路接口和气路接口,导向筒上部开有供进水管路和气体管路穿过的通孔;进水管路和气体管路通过该通孔分别与水路接口和气路接口相连通。
10.根据权利要求9所述的反应腔室喷淋系统,其特征在于所述导向筒与分气盒的连接部分设有密封圈。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的