[实用新型]一种镀膜机扩散泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜机扩散泵。

背景技术

随着真空管的大规模生产，节能降耗已成为一个企业盈利的主要方式，而再生产过程中，镀膜机作为生产中的耗电大户，它的耗电量直接影响真空管的生产成本，为了降低镀膜机的单耗，在不影响使用的情况下对镀膜机扩散泵进行改造。

发明内容

本实用新型的目的就是在镀膜机扩散泵系统要求的条件下，改用功率较低的加热器。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。

将原每小时耗电量9千瓦时的扩散泵油加热器更改为每小时耗电量6千瓦时的电磁波加热器，从而大大提高了工作效率，平均每台镀膜机扩散系统每小时节约电能3千瓦时。

附图说明

现结合附图对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型剖面图。

图中1、水冷套，2、喷油嘴，3导流管，4、泵壳，5、加热器，6、冷却水进口，7、进气口，8、排气口 ，9、冷却水出口。

具体实施方案

 如图1所示，在泵壳4中设有多根导流管3，在导流管3上部设有喷油嘴2，在泵壳4的外侧壁上设有多个水冷套1，在泵壳4的底部设有电磁加热器5，冷却水进口6和冷却水出口9分别设在泵壳4的上部和下部。在导流管3的顶部设有进气口7，排气口8设在冷却水出口9的一侧端。