[实用新型]一种具有温漂补偿的电容湿度传感器有效
| 申请号： | 201120570163.5 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202433336U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 秦明;周永丽;黄见秋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 王玉梅 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 补偿 电容 湿度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1. 一种具有温漂补偿的电容湿度传感器，其特征是，包括半导体衬底层、绝缘层、感湿悬臂以及感应电极；其中：
绝缘层覆盖于半导体衬底层的上表面；
感湿悬臂的一端固定于绝缘层上，另一端位于绝缘层的上方并悬空；感湿悬臂由从下到上依次叠置的第一湿敏材料层、隔湿层和第二湿敏材料层组成；其中第一湿敏材料层与第二湿敏材料层的厚度相同；
感应电极包括上电极和下电极；上电极覆盖感湿悬臂中第一湿敏材料层的下表面，并固定；下电极固定于绝缘层上；且上电极悬空的一端平行于下电极，并位于下电极的上方。
2.根据权利要求1所述的具有温漂补偿的电容湿度传感器，其特征是，感湿悬臂中第一湿敏材料层、第二湿敏材料层的厚度大于隔湿层、上电极的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120570163.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
