[实用新型]脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，属于激光微加工技术领域。

背景技术

电容式触摸屏一般由盖板玻璃、上线导电感应膜层和下线导电感应膜层等构成。其中盖板玻璃的主要作用为保护下面的电容感应膜层，同时在盖板玻璃背面边缘印刷黑色油墨，这四周的油墨的作用主要有以下三点作用，第一起到美观作用；第二起到遮蔽不可视区域的边缘线路的目的；第三可以方便印刷产品标识等图形符号。一般导电感应膜层基底有PET与玻璃两种。其中，PET感应膜层虽然较薄，但透光率较差，导致屏幕显示效果不佳；而玻璃感应膜层基底透光率高，触感较好，采用玻璃感应膜层是触摸屏厂商整体发展趋势。但由于单个玻璃基版厚度比较大，所以两层感应膜层再加上盖板玻璃厚度叠加起来，不利于触摸屏向轻、薄方向发展。现在触摸屏厂商采用将盖板玻璃和上感应导电膜层集成在一起，省掉一块感应膜层玻璃，节省了一个贴合制程工序和OCA胶等耗材成本，提高工艺的整体良率。虽然采用了新的制程后，使的制成工序减少和成本降低，但是增加了做作工艺的难度，其中具体体现在：如何在油墨上制作不可视区域的线路成为本制成关键因素。 

传统的玻璃基底触摸屏上导电膜层上线路制作方法主要有化学湿法刻蚀和黄光刻蚀等两种工艺方法。其中化学湿法刻蚀导电膜层的工艺方法中，工序设计到完成刻蚀时间长，需投入治具和耗材成本较高，同时要求产线上投入较多人力，占地面积比较大，废水废酸等废液对环境污染较为严重，整个工艺流程能源浪费较严重。而黄光刻蚀工艺需要前期投入较大，成本高昂，对于材料的选择性较为狭隘，不适合市场上所有导电膜层的制作方法，再加上日常维护开销较大，耗材和人力成本带来整个生产成本的增加，应用领域限制较为严重。同时，二者都需要烘烤等高温度处理，对于玻璃上黑色油墨会有涨缩等问题，这个也是此工艺继续进行下去的技术难点。

 激光刻蚀玻璃上油墨基底导电膜层工艺是利用脉冲激光通过光学聚焦系统将激光束聚焦为10微米到90微米的光斑，聚焦后的光斑，达到材料的去除能量阈值，通过高速扫描振镜系统精密快速扫描，从而实现触摸屏上导电膜层的线路制作目的，这样制作的不可视区域更窄，实用性更强。同时，采用的激光波长对导电膜层吸收率较高，但是对导电膜层下面膜层反射率较高，所以刻蚀过程中不会伤害导电膜层下面的黑色油墨，这样我们就能避免从盖板玻璃正面可以看见所刻蚀不可视区域线路排版。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，克服传统黄光曝照、酸碱湿刻等加工中存在系统复杂、加工效率低、占地面积大、易产生耗材、良率低和选择性不强等缺点。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，特点是：高频率脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有半透半反镜片，半透半反镜片的输出端布置有第一1/2波片和第二高反射率镜片，第一1/2波片的输出端布置有第一格兰棱镜，第一格兰棱镜的输出端布置有第一高反射率镜片，第一高反射率镜片的输出端布置有第一振镜场镜系统，第一振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台；第二高反射率镜片的输出端布置有第二1/2波片，第二1/2波片的输出端布置有第二格兰棱镜，第二格兰棱镜的输出端布置有第三高反射率镜片，第三高反射率镜片的输出端布置有第二振镜场镜系统，第二振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台；所述四轴高精度平台的上方布置有CCD对位观察系统，所述四轴高精度平台的一侧布置有吹气系统，另一侧安装有集尘系统，第一高反射率镜片的输出端还布置有第一功率实时监测探头，第三高反射率镜片的输出端还布置有第二功率实时监测探头，第一功率实时监测探头和第二功率实时监测探头通过通讯系统与控制系统相连，第一振镜场镜系统和第二振镜场镜系统通过通讯系统与控制系统相连。

进一步地，上述的脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，其中，所述高频率脉冲激光器是波长为196nm～1064nm、脉宽在10ps～200ns、重复频率在50KHz以上的脉冲激光器。

本实用新型技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在：