[实用新型]一种液体喷头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种液体喷头。

背景技术

作为液体喷射装置，例如有向与对应打印信号的喷嘴连通的压力发生室内的墨水施加喷出能量并从喷嘴开口喷出墨水滴的喷墨式记录装置。作为搭载在此喷墨式记录装置上的喷墨式记录头大致有两种，即一种是在压力发生室内设置由驱动信号产生焦耳热的电阻线等的发热元件，并利用此发热元件产生的泡沫从喷嘴开口喷出墨水滴的记录头，另一种是由振动板构成压力发生室的一部分，利用压电元件使此振动板变形，并从喷嘴开口喷出墨水滴的压电振动式的记录头。

现有利用压电元件作为致动器把墨水喷出的喷头，主要有以下两种类型，一种是压电元件和振动板部分构成与排出墨滴相应喷嘴孔连通的压力产生腔室，通过压电元件和振动板的变形，使得压力产生腔室体积发生变化，从而把墨水从喷嘴孔喷出。(参照专利文献1，中国专利CN02105630.7)。

另外一种是在日本专利申请平2-194960中，硅基板上设置喷嘴孔和压力腔室，压电元件和振动板以悬臂梁的形式设置在压力腔室内。下面参考图1描述在日本专利申请平2-194960中公开的液体喷头及其排墨原理。压电转换器22由可自如移位的振动部(振动片)20和固定部21构成，由PZT构成的压电单元15的两面上由电极16，弹性体14覆盖在电极16的靠近喷嘴的那侧上。下面说明借助压电转换器22喷墨的原理。一旦在压电单元15两面的电极16之间施加电压，压电单元15就会因压电效果而收缩，压电转换器的振动片20的悬空端便朝着a方向移位。另一方面，弹性体14有着很强的刚性，所以其尺寸变化是受限的，致使电压解除时产生一个使振动片朝b方向弯曲的弯矩，从而墨滴从喷嘴19被喷出。因此，通过选择性的施加，解除电压，可以使振动片20的悬空端变形、移位，从而使其附近的墨水喷出。

根据基于以上描述的排墨原理的液体喷头，在排出口周围的液体可以被有效地排出。因此，和传统的没有悬臂梁结构的液体喷头相比，改进了液体排出效率。在具有如上所述的悬臂梁式的液体排出头中，悬臂梁根据电压的变化而移动，并在移动过程中，根据移动的应力作用在悬臂梁上，这一应力特别主要地作用在绕悬臂梁的固定部21支点周围的悬臂梁上，会影响悬臂梁的使用寿命。

因此，在悬臂梁大范围移动和经常移动的情况下，悬臂梁在其底部折断。

实用新型内容

根据上述情况，本实用新型提供一种液体喷头，以解决现有悬臂梁式液体喷头因大范围或经常移动且应力集中在悬臂梁的支点周围而使悬臂梁折断的技术问题。

为了解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种液体喷头，包括：

硅基板；

设置在所述硅基板表面的液体腔室；

设置在所述液体腔室内部一端固定在所述的硅基板上，另一端是活动端的振动板；

设置在所述振动板上的压电元件；

设置在所述硅基板上的供液通道；

和与所述液体腔室连通的喷嘴孔；

其特征是，所述振动板与硅基板上供液通道的壁的连接处呈曲面。

所述振动板与硅基板上供液通道的壁的连接处呈R倒角。

所述振动板活动端部分与硅基板之间有间隙。

所述液体喷头，其特征是，所述振动板活动端部分与所述喷嘴孔之间有间隙。

所述曲面通过磨粒喷射加工工艺形成。

在采用了上述技术方案后，由于振动板与硅基板上供液通道的壁的连接处呈曲面，由于作用在悬臂梁支点周围的应力被曲面分解，缓解了由于悬臂梁根据电压的变化而移动，并在移动过程中应力作用在绕悬臂梁的支点周围的悬臂梁上，避免因应力集中而折断悬臂梁，延长了悬臂梁的使用寿命。解决了现有悬臂梁式液体喷头因大范围或经常移动且应力集中在悬臂梁的支点周围而使悬臂梁折断的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型背景技术附图；

图2为本实用新型实施例的液体喷头剖视图；

图3为本实用新型实施例的液体喷头局部放大图；

图中标志说明：1硅基板，2供液通道，3振动板，4Si3N4薄膜，5SiO2薄膜，6压电元件，7下部电极，8压电层，9上部电极，10喷嘴孔，11供液通道壁，12压力腔室壁，13曲面，14弹性体，15压电单元，16电极，17喷嘴板，18垫片，19喷嘴，20振动部，21固定部，22压电转换器，23液体容纳腔，24活动端，25固定端，26支点

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步的说明。