[实用新型]一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种旋转管的制作装置，特别是涉及一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置。

背景技术

自美国镀膜设备供应商开发出旋转阴极靶材，靶材的利用率由传统矩形平面靶的40%提高到80%，大量节约镀膜成本，从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广泛应用。 然而，制备长达4米的矩形平面靶尚且不易，而制备相同长度、直径Φ150~190mm的中空圆柱靶，更为不易。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的低熔点靶材存在的缺陷，而提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，所要解决的技术问题是使其可以制作带有内衬管的旋转靶材，使用具有冷却作用的环形模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，进而得到晶粒细致的旋转靶材，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

 本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。

前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。

前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。

借由上述技术方案，本实用新型低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置至少具有下列优点：

本实用新型使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。

综上所述，本实用新型特殊结构的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的低熔点的靶材的制作工艺具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

请参阅图1所示，本实用新型较佳实施例的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具1，模具1内设置有胚料管3和内衬管2，内衬管2固定在胚料管3内，胚料管3的底部设置有法兰6，通过法兰6固定内衬管2。它还包括设置在模具1底部的电机5，电机5通过传动丝杆4与胚料管3相连接，电机5带动胚料管3上下运动。模具1的中部设置有卡槽10，卡槽10与胚料管3之间液密封，在模具1的侧壁上设置有入水口7和出水口8，入水口7和出水口8位于卡槽10的上部，入水口7位于出水口8的下部。

本实用新型的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，应用于低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤：

A、将坩埚9熔汤倒入带有内衬管2的胚料管3内，胚料管3通过电机5匀速上升，并保持模具1内熔汤的在卡槽10上部的高度不变；

B、从设置在模具1侧壁上的入水口7注入冷却水，从模具1侧壁上的出水口8流出。

上述如此结构构成的本实用新型一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。