[实用新型]多晶硅氢化炉尾气节能系统有效
| 申请号: | 201120547618.1 | 申请日: | 2011-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN202400852U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
| 发明(设计)人: | 赵建;盛斌;孙惺惺;刘美芬;王中华 | 申请(专利权)人: | 江苏双良锅炉有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C01B33/035 |
| 代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
| 地址: | 214444 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 氢化 尾气 节能 系统 | ||
1.一种多晶硅氢化炉尾气节能系统,其特征在于:所述系统包括汽化器(1)、氢化炉(2)、气气换热器(3)和冷却器(4),所述氢化炉(2)的尾气出口与冷却器(4)的尾气进口连接,冷却器(4)的尾气出口与气气换热器(3)的尾气进口连接,气气换热器(3)的尾气出口接入汽化器(1),汽化器(1)的尾气出口接入尾气回收工序;TCS和H2混合气体接入汽化器(1),出汽化器(1)的TCS和H2混合气体接入气气换热器(3),出气气换热器(3)的TCS和H2混合气体接入氢化炉(2)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅氢化炉尾气节能系统,其特征在于:所述气气换热器(3)为U型管换热器。
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