[实用新型]可改变高度的探针台托盘有效
| 申请号： | 201120538648.6 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN202423247U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 辛吉升;桑浚之 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 高月红 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改变 高度 探针 托盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种可改变高度的探针台托盘，其特征在于，包括：用来托起晶圆的上部分、作为支架的下部分，上下部分通过可调节高度的连杆件进行连接，下部分通过关联器件能与探针台固定连接；其中，上部分的直径小于下部分的直径。
2.如权利要求1所述的托盘，其特征在于：所述连杆件，包括：螺丝、弹簧。
3.如权利要求2所述的托盘，其特征在于：所述连杆件的数目为一个或多个。
4.如权利要求1所述的托盘，其特征在于：所述上下部分中，上下部分的半径差，为晶圆的边缘宽度。
5.如权利要求1所述的托盘，其特征在于：所述关联器件，包括：螺杆、弹簧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹NEC电子有限公司，未经上海华虹NEC电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120538648.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：直线串绝缘子带电更换装置
- 下一篇：便于接线的漏电保护器
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
