[实用新型]一种离子束运动截面的调整装置有效
| 申请号： | 201120533666.5 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202352612U | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;曲丕丞;赵无垛;陈平;崔华鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 运动 截面 调整 装置 | ||
1.一种离子束运动截面的调整装置，其特征在于：包括前置电极(1)、对电极a(2)、对电极b(3)和后置电极(4)；
前置电极(1)和后置电极(4)为平行、相对设置的金属板状电极，金属板状电极中部设置有贯穿电极板体的通孔；
对电极a(2)和对电极b(3)为同轴设置的、二端开口的金属圆筒状电极，对电极a(2)和对电极b(3)置于前置电极(1)和后置电极(4)之间，且对电极a(2)和对电极b(3)与前置电极(1)和后置电极(4)上的通孔同轴；
靠近前置电极(1)的对电极a(2)的端面和靠近后置电极(4)的对电极b(3)的端面平行于前置电极(1)的平面；
对电极a(2)和对电极b(3)直径相等、相互间隔设置，对电极a(2)和对电极b(3)间相靠近的端面为椭圆面，它们的椭圆面相平行，椭圆面所处的平面与前置电极(1)所处的平面相交。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：对电极a(2)和对电极b(3)间相靠近的端面的对应点间距相等。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：后置电极(4)远离对电极b(3)的一侧设置有离子探测器，离子探测器通过导线与外部的信号分析仪相连接。
4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：前置电极(1)远离对电极a(2)的一侧设置有离子源，离子源产生的离子从前置电极(1)上的孔穿过。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：对电极a(2)和对电极b(3)施加有不同的电势，施加的电势均不高于离子自身的能量；
前置电极(1)和后置电极(4)施加相同或相近的电势，施加的电势与两电极外侧的电势相关。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：对电极a(2)和对电极b(3)的中间接口的两个椭圆面相互平行；两者上对应点的间距在0.1mm～100mm。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：
所述的对电极a(2)和对电极b(3)于前置电极(1)和后置电极(4)之间成对同轴设置，同轴设置的对数为1个、2个或3个以上；它们2个以上的多级串联，实现离子束的的多维调节。
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