[实用新型]还原炉进料小流量调节阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种调节阀，尤其是涉及一种还原炉进料小流量调节阀。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。由于多晶硅在太阳电池领域具有重要的应用前景，因而近些年得到了广泛的应用。

目前，多晶硅的制备通过多晶硅还原炉进行，在多晶硅还原炉的进料工艺中，由于原料为易燃易爆介质，通常采用气动调节阀来对进料流量进行控制调节；但是由于其并非是为还原炉进料专门设计的，在使用中发现由于常规的气动控制阀阀体采用管形结构，阀座垂直安装于阀体对其进行开闭操作，其有效流通面积受阀座孔、阀门全开时阀芯与阀座孔构成的侧面（圆柱面或是圆锥面，我们称他为面1）面积的限制。另外，阀座将阀腔分为两大部分，其阀腔上部另一方向与管道过渡孔（我们称他为面2）有效面积也限制着阀门的有效流通面积。后两个限制是主要的。要增大面1的面积，阀芯必须远离阀座孔，即增大其行程，这样阀的垂直高度就大了。因而当需要获得较大的阀腔流通截面时，需要使用更大尺寸的阀体，从而导致整个控制阀体型较大，加上执行机构，体型就更大了，导致控制阀在还原炉上安装受限。普通切断阀体型相对小，用其开关来控制流量，精度低，且流量不稳定，阀门频繁启闭，阀门寿命减少。同时，多晶硅还原炉所使用的原料多具有极强的腐蚀性，且有毒，一般阀门密封性能较差，在使用过程中容易造成原料的泄露，造成严重后果。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，阀的开启方向与管道成小于90度的角度的Y形，其垂直行程就小了，而且面2也相应得到增大，体型就相应缩小。O形圈、波纹管、填料多道密封，密封性能好。阀芯等百分比设计，调节精度高。

本实用新型的目的是这样实现的：一种还原炉进料小流量调节阀，所述调节阀包含有阀体和气缸，所述阀体呈一“Y”形结构，所述气缸安装于“Y”形阀体的顶部开口处，所述阀体上设置有阀盖，且阀盖设置于气缸内，所述气缸内套装有一活塞组件，所述活塞组件斜向下连接有一阀杆，该阀杆穿过阀盖的一端上通过小法兰连接有一阀座，所述阀座上连接有一阀芯，所述阀芯流线的形状为等百分比曲线，所述阀杆上套装有波纹管组件，且波纹管组件一端与阀盖相连，另一端与小法兰相连，所述阀盖和活塞组件之间设置有弹簧，所述气缸的顶部设置有一支架，该支架上安装有阀门定位器，所述活塞组件上斜向上连接有一指示杆，所述指示杆与阀门定位器的反馈装置相连。

本实用新型还原炉进料小流量调节阀，所述阀杆与阀盖之间通过O形圈和填料进行密封。

本实用新型还原炉进料小流量调节阀，所述阀盖设置有一弹簧座，套装于阀杆上的弹簧一端与阀盖相连，另一端与活塞组件相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用阀门定位器后使得调节更为智能和方便，同时设置为等百分比的阀芯使得调节更为精确；同时“Y”形阀体的设计使得整个阀门体积更为小巧，波纹管的使用也使得密封性能更好，有利于提高阀门的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型还原炉进料小流量调节阀的结构示意图。

图2为等百分比阀芯和常规线性阀芯的流量比较示意图。

其中：

阀体1、阀芯2、阀座3、小法兰4、波纹管组件5、阀杆6、阀盖7、O形圈8、填料9、弹簧座10、弹簧11、活塞组件12、气缸13、指示杆14、支架15、阀门定位器16。

具体实施方式