[实用新型]一种温度可调控四探针方块电阻测试系统

权利要求书

1.一种温度可调控四探针方块电阻测试系统，包括电源、SDY-4四探针探头的四探针1、四探针2、四探针3和四探针4、万用电表V、万用电表I以及四探针测试平台，万用电表V的两引脚分别与SDY-4四探针探头的四探针2与四探针3连接，四探针1、四探针2、四探针3及四探针4均与四探针测试平台连接，其特征在于，电源正极分别MC1403精密低压基准电源的引脚1与OP07双极型运算放大器的引脚7连接，MC1403精密低压基准电源的引脚3接地，MC1403精密低压基准电源的引脚2通过电阻R1与OP07双极型运算放大器的引脚3连接，OP07双极型运算放大器的引脚4与电源负极连接，OP07双极型运算放大器的引脚6通过万用表I与四探针4连接，OP07双极型运算放大器的引脚2与四探针1连接，同时通过电阻R2接地。

2.根据权利要求1所述的一种温度可调控四探针方块电阻测试系统，所述的四探针测试平台包括基座及样品，样品设于基座上，其特征在于，基座内的上端设有电炉丝加热装置，样品与基座之间设有金属垫片，样品上设有SDY-4四探针探头的四探针1、四探针2、四探针3及四探针4，样品表面上设有热电偶，热电偶与温度测量仪连接。