[实用新型]一种氦气纯化装置

权利要求书

1.一种氦气纯化装置，其特征在于：包括纯化系统和降温系统，所述纯化系统包括依次连通的从原料氦气中脱除H₂O，CO₂的粗氦干燥器、初步冷凝脱除氮氧的高压冷凝分离器，以及装填活性炭吸附精脱氮氧的氮氧低温吸附器，所述降温系统包括通有液氮的管路系统，以及抽空该管路系统使其达到负压状态的抽真空设备，所述管路系统分别连通所述高压冷凝分离器、氮氧低温吸附器使其工作于负压液氮蒸发温度下。

2.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：还包括连通于粗氦干燥器、高压冷凝分离器之间的负压蒸发氮换热器，所述负压蒸发氮换热器与降温系统连通对通过其内的原料氦气进行换热降温。

3.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：还包括再生系统，所述再生系统包括再生气加热器，所述再生气加热器设有再生用气氮入口、再生用热气氮出口，所述再生用热气氮出口连通至粗氦干燥器和高压冷凝分离器之间纯化系统管路上，并通过阀门控制其内再生用热气氮对粗氦干燥器反向活化，或用热气氮加热低温吸附器夹套，并同时对吸附器内筒进行抽空以活化活性炭。

4.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述氮氧低温吸附器外部设有液氮夹套，所述降温系统与所述液氮夹套连通为其降温。

5.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述高压冷凝分离器外部设有液氮夹套，内部设有内筒，所述降温系统与所述液氮夹套连通为其降温，所述液氮夹套内设有盘管，原料氦气先通过所述盘管过冷再进入所述内筒冷凝。

6.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述粗氦干燥器为至少2个并联交替使用。

7.如权利要求1所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述氮氧低温吸附器由至少2组并联使用，每组由至少2个氮氧低温吸附器串联使用。

8.如权利要求1、3至7中任一权利要求中所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述高压冷凝分离器、氮氧低温吸附器设于冷箱内，所述冷箱内填充有保温用膨胀珍珠岩。

9.如权利要求2中所述的氦气纯化装置，其特征在于：所述负压蒸发氮换热器设于冷箱内，所述冷箱内填充有保温用膨胀珍珠岩。