[实用新型]一种在硅片制绒过程中传输硅片的滚轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在硅片制绒过程中传输硅片的滚轮。

背景技术

在晶体硅太阳电池的生产过程中，制绒工序采用湿法腐蚀技术在去除硅片表面损伤层的同时，制备一层绒面用于减反射。实现这个技术一般采用湿法刻蚀机，此设备为链式连续生产方式，分为5个轨道，由多个功能模块组成，全部由滚轮传输硅片，Input区为硅片进入机台的第一个模块，国外厂商会为Input区配置一个自动传输系统设备，硅片进入Input区后的轨道位置基本不会偏移，所以在Input区的滚轮未设计硅片轨道修正装置，而国内厂商由于从成本上考虑，Input区多数为人工投片，再加上其他因素，如设备本身的轻微震动，严重影响硅片的轨道精确度，会产生轨道偏移，部分轨道间偏差较大的硅片在进入设备后会与其他轨道的硅片相撞或者重叠，引起叠片或者卡片事故，产生大量碎片及不合格片，并严重影响生产的连续性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在硅片制绒过程中传输硅片的滚轮，它可以有效修正硅片传输产生的偏移现象，避免叠片、卡片以及撞片的事故。

本实用新型提供了一种在硅片制绒过程中传输硅片的滚轮，它包括滚轮、卡环、防滑圈；其中，每个滚轮上均匀设有6个卡环，相邻的两个卡环之间的距离大于硅片的尺寸；每相邻的两个卡环之间的滚轮上，还均匀设有至少2个防滑圈。

其中，所述硅片厚度和防滑圈的圆环宽度之和小于或等于卡环的圆环宽度。

进一步地，每相邻的两个卡环之间的滚轮上，还均匀设有至少4个防滑圈。

本实用新型通过对滚轮的改进，可以完全避免由于硅片轨道偏移引起的卡片、叠片等事故，大大减少碎片率，显著提高直通率，减少Down机时间，保证生产的连续性和稳定性。

附图说明

图1本实用新型的结构示意图

其中，1-滚轮，2-卡环，3-防滑圈。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型为一种在硅片制绒过程中传输硅片的滚轮，它包括滚轮1、卡环2、防滑圈3；其中，每个滚轮1上均匀设有6个卡环2，相邻的两个卡环2之间的距离大于硅片的尺寸；每相邻的两个卡环2之间的滚轮1上，还均匀设有至少2个防滑圈2。其中，所述硅片厚度和防滑圈3的圆环宽度之和小于或等于卡环2的圆环宽度。每相邻的两个卡环2之间的滚轮1上，还均匀设有至少4个防滑圈3。

相邻的两个卡环之间的距离大于硅片的尺寸，可以保证硅片不会偏离传输轨道；同时，设置的防滑圈，可以增强对硅片的摩擦力度，进一步防止硅片在传输过程中偏移轨道。其中，防滑圈和卡环均采用不易对硅片造成损伤的材质。同时，本发明均匀设置6个卡环，将滚轮分成5段，每一段都可以和机台的5个轨道相对应。

本实用新型通过对滚轮的改进，可以完全避免由于硅片轨道偏移引起的卡片、叠片等事故，大大减少碎片率，显著提高直通率，减少Down机时间，保证生产的连续性和稳定性。