[实用新型]真空化学气相沉积装料盒有效
| 申请号： | 201120514274.4 | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN202380083U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 徐志淮 | 申请（专利权）人： | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215331*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 化学 沉积 装料 | ||
【权利要求书】：
1.真空化学气相沉积装料盒结构，其特征在于，所述的料舟设置在蒸发腔室内，蒸发腔室一端通过一料门封闭，另一端与通入反应裂解装置的裂解管装置相连，且所述的料舟与蒸发腔室的接触面积为两条边线，料舟前后有定位结构和热阻挡结构。
2.根据权利要求1所述的真空化学气相沉积装料盒结构，其特征在于：所述的料舟为一长方体，上方开口，且长宽比为3∶1-6∶1。
3.根据权利要求1所述的真空化学气相沉积装料盒结构，其特征在于：所述的料舟上还设置有两个定位结构，两个定位结构分别设置在料舟的前部和后部，前部的为前定位机构，后部的为后定位机构，所述的后定位机构高于料舟的上边沿，形成热挡板结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山彰盛奈米科技有限公司，未经昆山彰盛奈米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120514274.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高密度聚乙烯管材
- 下一篇：车用橡塑一体化中冷器出气管
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
