[实用新型]超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置

权利要求书

1.一种超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置，是通过超声波近声场悬浮和气浮两种混合悬浮式方实现混合悬浮减振，该超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置包括：工作平台(1)、进气孔(2)、气流道(3)、气浮支承(4)、平台底座(6)、超声波换能器圆盘(9)、超声波换能器(11)、仪器支架(14)、超声波信号发生器(15)、空气压缩机(16)，其特征在于：气浮支承(4)上表面与工作平台(1)固定连接，气浮支承(4)下表面与平台底座(6)固定连接，超声波换能器(11)与超声波换能器圆盘(9)固定连接，超声波换能器(11)和超声波信号发生器(15)相连，超声波换能器(11)与仪器支架(14)固定连接，气浮支承(4)放置在超声波换能器圆盘(9)上，空气压缩机(16)出来的气体经过过滤后进入到进气口(2)。

2.根据权利要求1所述的超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置，其特征在于：工作平台(1)、气浮支承(4)和平台底座(6)固定在一起形成了一个气流道(3)，气流道(3)是为了给平台底座(6)上的节流孔(7)供气。

3.根据权利要求1所述的平台底座(6)，其特征在于：平台底座(6)的内侧分布着4个径向节流孔(7)和对应的压力腔(8)，当高压气体进入径向节流孔(7)和压力腔(8)时，可以减小混合悬浮装置的径向扰动。