[实用新型]一种工作盘

权利要求书

1.一种工作盘，包括盘体和盘底，其特征在于：盘体和盘底之间设置真空密封腔，盘体设有气密接头由外伸入真空密封腔，盘体表面均匀布满与真空密封腔连通的吸孔；盘体设有磁力块；盘体表面设有固定夹。

2.根据权利要求1所述的一种工作盘，其特征在于：气密接头与盘体是螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种工作盘，其特征在于：吸孔上端设置真空吸盘，并由吸盘密封圈密封。

4.根据权利要求3所述的一种工作盘，其特征在于：真空密封腔由环状分区密封条分割成第Ⅰ真空腔和第Ⅱ真空腔，气密接头分为第一气密接头和第二气密接头，分别由外伸入第Ⅰ、第Ⅱ真空腔。

5.根据权利要求4所述的一种工作盘，其特征在于：分区密封条是环形设置，使第Ⅰ真空腔和第Ⅱ真空腔是内外结构，或者分区密封条是条形设置，使第Ⅰ真空腔和第Ⅱ真空腔是并列结构。

6.根据权利要求1所述的一种工作盘，其特征在于：磁力块是磁钢，且嵌入盘体内。

7.根据权利要求1所述的一种工作盘，其特征在于：盘体表面设置活动磁力辅助压块。

8.根据权利要求1所述的一种工作盘，其特征在于：固定夹是螺旋压板机构。

9.根据权利要求1~8所述的任意一种工作盘，其特征在于：盘体是圆形或四边形，盘底的形状与盘面相适应。