[实用新型]一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置。

背景技术

在化学气相沉积过程中，两种或两种以上的气态原材料在加热和真空的条件下发生化学反应，形成一种新的材料沉积到基体表面上。沉积过程中需要用到气体参与反应，在实际操作过程中，大部分气体不用加热，直接进入反应室内进行反应，如氮气、氨气等气体；但有些气体是需要通过加热的方式，提高气体的压力使气体更加容易从储气罐内出来，同时保证在管道内的运行顺畅。对于需要加热的罐装气体，往往采用加热套对储气罐包裹的方式进行加热，所述的加热套常因储气罐的更换而频繁装卸，其缺点在于：加热套直接对储气罐加热，不仅使气体受热不均，加热速度过快不易控制，会出现局部过热的现象；而且加热套一旦损坏，极易导致温度失控，造成危险事故。

发明内容

针对以上的技术不足，本实用新型提供了一种储气罐水浴加热装置，在对罐装气体加热时，不但能保证气体受热均匀，同时确保加热温度恒定、安全生产。

本实用新型的技术方案如下：

一种储气罐水浴加热装置，包括外壳和加热源，在外壳顶中部设置有供盛放储气罐用的罐体槽，所述罐体槽与外壳封闭连接形成中空腔，在所述外壳顶部或侧壁上部设置有进水口，在外壳侧壁上部设置溢水口，在所述外壳的侧壁底部设置有出水口。

所述的加热源设置在所述外壳的外部或所述中空腔内。

所述的加热源为电加热器。优选的，所述的电热器位于中空腔内罐体槽底与外壳底之间。

进一步优选的，所述的电加热器为大功率电热膜或大功率电热丝。

在所述中空腔内装有液体介质。优选的，所述的液体介质为纯净水。

优选的，所述的罐体槽与储气罐的外形相适应。

优选的，进水口位于所述外壳的顶部一边角处。

本实用新型用于化学气相沉积生产中对罐装气体均匀持续恒温加热。

本实用新型的优点在于：

1.本实用新型构思巧妙，结构简单易维护。

2.本实用新型在应用于化学气相沉积时，可为多种反应气体加热，确保储气罐内的反应气体顺利导出。

3.本实用新型通过液体介质向储气罐壁传递热量，避免加热源与储气罐直接接触而出现储气罐局部过热的现象；所述的罐体槽与储气罐外形相适应，使储气罐内的气体受热均匀，加热速度趋缓易控，杜绝因气体温度过高而产生的危险事故的发生。

附图说明

图1为实施例2的结构示意图；图2为图1的局部剖视图；图中，1、进水口；2、罐体槽；3、溢水口；4、出水口；5、外壳；6、中空腔；7、加热源。

具体实施方式

下面结合实施例和说明书附图对本实用新型做详细的说明，但不限于此。

实施例1、

一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置，包括外壳5和加热源7，在外壳5的顶中部设置有供盛放储气罐用的罐体槽2，所述外壳5与罐体槽2封闭连接形成中空腔6，在所述在所述外壳5顶部设置有进水口1，在外壳侧壁上部设置溢水口3，在所述外壳5的侧壁底部设置有出水口4；所述的加热源7设置在外壳5外部。

实施例2、一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置，结构如图1、2所示。

如实施例1所述，所不同的是：所述的加热源设置在所述中空腔6内，所述加热源为大功率电热膜，所述大功率电热膜安装在外壳5的底部和罐体槽2的底部之间。

实施例3、

一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置，如实施例1所述，所不同的是：所述的加热源设置在所述中空腔6内，所述加热源为大功率电热丝，所述大功率电热丝安装在罐体槽2底与外壳5的内底之间。

本实用新型的工作过程：

如实施例1，通过壳体5顶部设置的进水口1向中空腔6注入一定具有固定温度的纯净水，其中纯净水的温度根据反应气体所需温度而定。当溢水口3开始溢水时，将需要加热的储气罐盛放于罐体槽内，持续向中空腔内循环注入一定温度的纯净水，此时纯净水的热量通过罐体槽传送给储气罐，进而实现对罐内气体的加热，本实施例通过控制水温就能控制气体的温度，且整个储气罐受热均匀，避免了气体因温度过高而发生危险情况。使用时，所述加热源在外壳5外部先对纯净水进行加热，当加热到合适的温度时，将纯净水沿进水口1注入所述的中空腔6。此时纯净水的热量通过罐体槽2传送给储气罐，进而实现对罐内气体的加热，本实施例通过控制水温就能控制气体的温度，且整个储气罐受热均匀，避免了气体因温度过高而发生危险情况。