[实用新型]一种氨气控制阀箱柜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种氨气控制阀箱柜。

背景技术

PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，等离子体化学活性很强，因此很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。参加反应的气体主要有硅烷和氨气，这些气体一般存放在指定的地点并储存在钢瓶中。车间生产时，可通过调节压力和流量使得这些气体通过不锈钢管道输送到车间设备的反应体腔内，以供太阳能电池镀膜使用。由于外围设备的缺陷，车间的温度不能一直处于稳定的状态，此外外围车间氨气管道比车间里的氨气输送管道直径大，环境气温也较高，所以当氨气从外面通过管道输送到车间内时，氨气所处的环境突然空间减小，温度降低，这样氨气会很容易液化晶，以致堵塞氨气管道，给生产带来不便，而且存在着严重的安全隐患。为了防止氨气在进入车间管道内发生液化的现象，有考虑通过降低氨气管道内的压力以减少氨气液化的温度的方法，但在正常生产过程中，减少压力往往会导致气体流量不稳定，导致不能正常生产。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种氨气控制阀箱柜，结构简单，可有效防止氨气发生液化的现象。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种氨气控制阀箱柜，包括氨气管道、流量计、管道阀门，所述流量计、管道阀门安装于所述氨气管道上，

所述氨气控制阀箱柜内还设有自动加热器，所述自动加热器内设有温度感应装置、控制装置、加热装置，所述温度感应装置用于感应所述氨气管道的温度，所述控制装置连接于所述加热装置并控制其通断。

作为改进，所述氨气控制阀箱柜内还设有温控仪，所述温控仪连接于所述自动加热器并用于显示温度。

由上可见，与现有技术相比，本实用新型有如下有益效果：

实际操作时，操作人员在自动加热器上设定一个温度值，当温度感应装置感应到氨气管道的温度低于该设定值时，控制装置打开自动加热器的加热装置使其开始加热，加热到温度感应装置感应到氨气管道的温度达到设定值时，控制装置关闭加热装置，这样氨气管道的温度比较稳定，可有效防止氨气发生液化的现象，而且本实用新型结构比较简单，安装非常方便，成本低廉，保证稳定的生产的同时还可以减少设备的损耗，降低生产成本。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中：

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

如图1所示为本实用新型所述的一种氨气控制阀箱柜的实施例，包括氨气管道1、流量计2、管道阀门，流量计2、管道阀门安装于氨气管道1上，氨气控制阀箱柜内还设有自动加热器3，自动加热器3内设有温度感应装置、控制装置、加热装置，温度感应装置用于感应氨气管道1的温度，控制装置连接于加热装置并控制其通断。

作为改进，在本实施例中，氨气控制阀箱柜内还设有温控仪，温控仪连接于自动加热器并用于显示温度，这样更方便操作人员查看温度。

以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。